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薄膜形成装置 バッチ式 プラズマ重合装置-バッチ式 プラズマ重合装置
薄膜形成装置 バッチ式 プラズマ重合装置-神港精機株式会社

薄膜形成装置 バッチ式 プラズマ重合装置
神港精機株式会社

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この製品について

真空チャンバーに導入したモノマーガスを高周波によりプラズマ化し、基板表面にポリマー膜を形成する装置です。 生体と接触する被膜の形成などに応用されています。 【特長】 生態適合性に優れた重合膜をドライプロセスで形成します。 量産性に優れており、バイオ・医療分野に薄膜の新たな分野を開拓しています。 親水性・撥水性効果 プラズマ重合技術により形成された薄膜は、ガス種及び成膜条件を最適化することにより各種素材の表面に極めて優れた親水性・撥水性を付加します。 成膜は50℃以下の低温で行える為、各種樹脂素材に高い親水性を与えます。 光学特定※赤外線カット効果 プラズマ重合薄膜は紫外線を透過しない特性があり、光学的にも各分野への対応が期待されています。

  • シリーズ

    薄膜形成装置 バッチ式 プラズマ重合装置

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薄膜形成装置 バッチ式 プラズマ重合装置 品番1件

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薄膜形成装置 バッチ式 プラズマ重合装置-品番-バッチ式 プラズマ重合装置

バッチ式 プラズマ重合装置

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使用用途

#コンフォーマルコート #パッシベーション層 #バリア層 #凹凸覆膜 #色度制御 #絶縁層 #低温処理 #硫化抑制

機能

単層ALD 複層ALD 高速ALD

温度管理

高温ALD 低温ALD

処理基板 ¢mm

50 - 150 150 - 250 250 - 350 350 - 700 700 - 1,400

スパッタ方向

アップ ダウン

スパッタ電源

0 - 1 1 - 5 5 - 20

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この商品の取り扱い会社情報

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162.9時間

会社概要

神港精機株式会社は1949年に設立した、真空ポンプ・真空装置を中心にアセンブリ装置・光学検査装置を製造するメーカーです。 技術開発型の企業として、「真空技術」を応用した製造装置及びコンポーネントを主軸とした「モノづくり...

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  • 本社所在地: 兵庫県
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