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パワーデバイス向け蒸気2流体洗浄装置 ASTE (アステ)取扱企業
HUGパワー株式会社カテゴリ
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洗浄装置の製品789点中、注目ランキング上位6点
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次の条件に該当する商品を1件表示しています
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | フロントエンドモジュール (EFEM) | 蒸気発生モジュール (Ti製SGM) | 蒸気2流体プロセスモジュール (SPM) | 超音速ノズル (幅8mm) | 汽水分離 | チャンバー数 | ウエハロ径 | カセット数 | 外形寸法 (SPM) ×2 | 外形寸法 (EFEM) | 外形寸法 (SGM) | 用力 (8”用) 電源 | 用力 (8”用) 純水 | 用力 (8”用) N2 | 用力 (8”用) CDA | 用力 (8”用) 排気 | 用力 (8”用) 排水 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
ASTE |
要見積もり |
ウエハのロード/アンロード |
純水を加熱 (100~140℃) し蒸気を発生 (~50kg/h) |
レジスト剥離、有機物除去等の洗浄室 |
蒸気＋純水の2流体を超音速で噴射 |
気体 (蒸気排気) と液体 (水排水) に分離 |
SPM 2チャンバ |
150/200mm対応 |
2カセット |
590mm (W) × 850mm (D) × 2,020mm (H) |
2,000mm (W) × 1,200mm (D) × 2,020mm (H) |
950mm (W) × 350mm (D) × 1,460mm (H) |
3相、200VAC、175A |
0.3~0.4MPa、5L/min |
0.3~0.6MPa、200L/min (ベルヌーイ仕様) |
0.55MPa、400L/min |
8m3/min |
5L/min |
洗浄装置の中で同じ条件の製品
処理形態: シングルウエハ型
洗浄装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#除菌殺菌 #乾燥 #精密洗浄 #異物除去 #脱脂 #油分除去 #容器洗浄 #タンク洗浄洗浄方式
超音波洗浄型 スプレー洗浄型 浸漬洗浄型 真空洗浄型 アーチ旋回洗浄 スチーム洗浄 ブラシ洗浄 温水洗浄 乾式洗浄 高圧洗浄 循環洗浄 洗剤洗浄 超音波洗浄 噴射洗浄 泡洗浄 薬液洗浄洗浄媒体
水系洗浄型 溶剤洗浄型搬送方式
バッチ型 インライン型乾燥方式
温風乾燥型 真空乾燥型消費電力 kW
0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500電源電圧 V
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 260タンク容量
0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 4,500洗浄液
アルカリ性界面活性剤 ゲルピカラボ スチーム パインアルファ プロピレングリコール 市水 純水 水石鹸液 精製水 専用アルカリ洗剤 専用酵素洗剤 中性洗剤 溶剤対象ワーク
ウェハー オリコン カブ ガラス瓶 クレート ゴボウ コンテナ プラスチックトレー マスク メタルマスク 基板 金型 人参 大根駆動方式
ダブルモーター エア駆動 シングルモーター ギヤ駆動 軸流タービン コンベア駆動 ペルトン型タービン トリプルウォッシュ スパイラル搬送
