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豊富な実績を誇るSSシリーズの安定性・信頼性を継承した先進のスピンスクラバ スピンスクラバ SS-80EX-SS-80EX
豊富な実績を誇るSSシリーズの安定性・信頼性を継承した先進のスピンスクラバ スピンスクラバ SS-80EX-株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

豊富な実績を誇るSSシリーズの安定性・信頼性を継承した先進のスピンスクラバ スピンスクラバ SS-80EX
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ



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この製品について

特長

■高生産性

長年にわたるスピンスクラバ技術を踏襲しながら、機能性をさらに向上。最大毎時160枚 (弊社現行機比111%) ※の高速処理を可能にしました。※システム構成と条件により異なります。

■操作性

制御システムをリニューアルし、直感的な簡単操作でオペレーションできる専用GUIを搭載。現場の作業効率向上に貢献します。

■稼働安定性

独自開発の「チャンバ分離設計」を採用。チャンバが駆動している最中でも、停止しているチャンバに対して、ブラシ・ピン交換やカップ清掃などのメンテナンスができ、ダウンタイムを大幅に低減します。

■多彩な洗浄ツール

信頼と実績のある6種類の洗浄ツールを搭載。目的や用途に応じて幅広く対応します。とりわけべベル洗浄は、洗浄ブラシを高精度で駆動・制御することにより、歩留まり向上に大きな効果を発揮します。

■フレキシブルな装置構成

設置スペースや処理能力に応じて、スピンヘッドを2基から最大6基まで搭載可能。導入後の拡張にも柔軟に対応します。

  • シリーズ

    豊富な実績を誇るSSシリーズの安定性・信頼性を継承した先進のスピンスクラバ スピンスクラバ SS-80EX

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豊富な実績を誇るSSシリーズの安定性・信頼性を継承した先進のスピンスクラバ スピンスクラバ SS-80EX 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
豊富な実績を誇るSSシリーズの安定性・信頼性を継承した先進のスピンスクラバ スピンスクラバ SS-80EX-品番-SS-80EX

SS-80EX

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使用用途

#除菌殺菌 #乾燥 #精密洗浄 #異物除去 #脱脂 #油分除去 #容器洗浄 #タンク洗浄

洗浄方式

超音波洗浄型 スプレー洗浄型 浸漬洗浄型 真空洗浄型 アーチ旋回洗浄 スチーム洗浄 ブラシ洗浄 温水洗浄 乾式洗浄 高圧洗浄 循環洗浄 洗剤洗浄 超音波洗浄 噴射洗浄 泡洗浄 薬液洗浄

洗浄媒体

水系洗浄型 溶剤洗浄型

搬送方式

バッチ型 インライン型

乾燥方式

温風乾燥型 真空乾燥型

消費電力 kW

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500

電源電圧 V

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 260

タンク容量

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 4,500

洗浄液

アルカリ性界面活性剤 ゲルピカラボ スチーム パインアルファ プロピレングリコール 市水 純水 水石鹸液 精製水 専用アルカリ洗剤 専用酵素洗剤 中性洗剤 溶剤

対象ワーク

ウェハー オリコン カブ ガラス瓶 クレート ゴボウ コンテナ プラスチックトレー マスク メタルマスク 基板 金型 人参 大根

駆動方式

ダブルモーター エア駆動 シングルモーター ギヤ駆動 軸流タービン コンベア駆動 ペルトン型タービン トリプルウォッシュ スパイラル搬送

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

私たち株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズは、大日本スクリーン製造株式会社(現、株式会社SCREENホールディングス)の半導体事業を全て承継し、半導体製造装置の専業メーカーとしてスタートしました。

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  • 本社所在地: 京都府
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