ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、優れたコストパフォーマンスを実現枚葉式洗浄装置 SU-2000-SU-2000

ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、優れたコストパフォーマンスを実現枚葉式洗浄装置 SU-2000
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

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この製品について

電子産業界のあらゆる分野で、「グリーンデバイス」と呼ばれる環境負荷の軽減に配慮した技術や製品が大きな注目を集めています。中でも、エアコン、電車、ハイブリッド自動車、電気自動車など、電力を効率的に制御するインバータ等のパワー半導体の需要が急速に拡大しています。

また、MEMS、BSI (Back side illumination) センサなどは、スマートフォンへの搭載率が急速に向上しており、それらのデバイス製造にも注目が集まっています。SCREENは、このような世界的市場動向とお客さまからのご要望にお応えして、2010年に環境デバイス分野向け製造装置の開発プロジェクト「FRONTIER」をスタートさせました。

今回、その第4弾として「グリーンデバイス製造」に適した枚葉洗浄装置「SU-2000」を開発しました。

特長
■優れたコストパフォーマンス・ハイエンド装置、SU-3200の基本設計コンセプトとノウハウを継承し、高度なプロセス性能に対応。
・通常のSiウェーハから薄ウェーハまでフレキシブルに対応可能。

■省フットプリント・お客さまの生産規模に応じて2チャンバ仕様、4チャンバ仕様から選択可能。
・当社従来装置MP-2000 (2チャンバ) とSU-2000 (4チャンバ仕様) のフットプリントを比較した場合、わずか14%のサイズアップとなるだけで、装置の置き換えに対応します。大幅な省スペースを実現しました。
・装置背面に薬液供給システムを配置 (All-in Oneコンセプト) 。薬液供給源からウェーハまでの距離を短くし、フットプリント抑制、処理制御性を高めています。

■薄ウェーハに対応・パワーデバイス、MEMS、TSV、BSIセンサの使用を考慮して、SU-2000は薄ウェーハのハンドリングを可能にしました。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、優れたコストパフォーマンスを実現枚葉式洗浄装置 SU-2000

取扱企業
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

カテゴリ

洗浄剤・装置

洗浄装置

半導体製造

半導体洗浄装置

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メトリーの使い方

1

問い合わせ

お客様からメーカーに対して問い合わせ・見積もり依頼を行うと、内容がメーカーに通知されます。
2

メトリーからメーカーに催促

メーカーの対応が遅い場合、メトリーがお客様に代わって催促のメール・電話を実施します。
3

直接やり取り

お客様にメーカーからメールにて回答が届き、お客様とメーカーで直接やり取りを行います。

メトリーを使う5つのメリット

簡単一括問い合わせ

ワンクリックでまとめて問い合わせができるため、各メーカーのホームページで同じ内容をフォームに入力する手間を省くことができます。
お客様の代わりに催促

メーカーの対応が遅い場合、メトリーがお客様に代わって催促のメール・電話を実施します。
返答率は96%以上

メトリーがお客様に代わって、メーカーに催促の電話を実施すること、さらに、返答率がメトリー上に表示されるため、メーカー公式サイトから問い合わせに比べて返答率が格段に高いです。
利用はもちろん無料

メトリーは一部企業からの広告宣伝費によって運営されているため、ご利用には一切費用がかかりません。手数料等のマージンも頂いておりませんので、安心してご利用ください。
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電話番号の入力は任意のため、不必要に何社からも電話がかかってくることはありません。

メトリーとは？

登録企業は10,000社以上

メトリーは産業用製品の選定・取引をよりスムーズにするためのサービスです。多くの企業にご賛同いただき、10,000社以上のメーカー・代理店がメトリーに製品登録しています。
上場企業から中小企業まで多様な登録企業
京セラ株式会社アルプスアルパイン株式会社パナソニックインダストリー株式会社安川電機株式会社マクニカ富士ソフト株式会社ダイキン工業株式会社旭化成株式会社他10,000社以上
幅広い業種の方々にご利用頂いております

大手企業・中小企業・研究機関等の、エンジニア・研究者・購買担当者など幅広い方々にご利用頂いております。