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ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、優れたコストパフォーマンスを実現 枚葉式洗浄装置 SU-2000-SU-2000
ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、優れたコストパフォーマンスを実現 枚葉式洗浄装置 SU-2000-株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、優れたコストパフォーマンスを実現 枚葉式洗浄装置 SU-2000
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

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この製品について

電子産業界のあらゆる分野で、「グリーンデバイス」と呼ばれる環境負荷の軽減に配慮した技術や製品が大きな注目を集めています。中でも、エアコン、電車、ハイブリッド自動車、電気自動車など、電力を効率的に制御するインバータ等のパワー半導体の需要が急速に拡大しています。 また、MEMS、BSI (Back side illumination) センサなどは、スマートフォンへの搭載率が急速に向上しており、それらのデバイス製造にも注目が集まっています。SCREENは、このような世界的市場動向とお客さまからのご要望にお応えして、2010年に環境デバイス分野向け製造装置の開発プロジェクト「FRONTIER」をスタートさせました。 今回、その第4弾として「グリーンデバイス製造」に適した枚葉洗浄装置「SU-2000」を開発しました。 特長

■優れたコストパフォーマンス

・ハイエンド装置、SU-3200の基本設計コンセプトとノウハウを継承し、高度なプロセス性能に対応。 ・通常のSiウェーハから薄ウェーハまでフレキシブルに対応可能。

■省フットプリント

・お客さまの生産規模に応じて2チャンバ仕様、4チャンバ仕様から選択可能。 ・当社従来装置MP-2000 (2チャンバ) とSU-2000 (4チャンバ仕様) のフットプリントを比較した場合、わずか14%のサイズアップとなるだけで、装置の置き換えに対応します。大幅な省スペースを実現しました。 ・装置背面に薬液供給システムを配置 (All-in Oneコンセプト) 。薬液供給源からウェーハまでの距離を短くし、フットプリント抑制、処理制御性を高めています。

■薄ウェーハに対応

・パワーデバイス、MEMS、TSV、BSIセンサの使用を考慮して、SU-2000は薄ウェーハのハンドリングを可能にしました。

  • シリーズ

    ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、優れたコストパフォーマンスを実現 枚葉式洗浄装置 SU-2000

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ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、優れたコストパフォーマンスを実現 枚葉式洗浄装置 SU-2000 品番1件

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SU-2000

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使用用途

#除菌殺菌 #乾燥 #精密洗浄 #異物除去 #脱脂 #油分除去 #容器洗浄 #タンク洗浄

洗浄方式

超音波洗浄型 スプレー洗浄型 浸漬洗浄型 真空洗浄型 アーチ旋回洗浄 スチーム洗浄 ブラシ洗浄 温水洗浄 乾式洗浄 高圧洗浄 循環洗浄 洗剤洗浄 超音波洗浄 噴射洗浄 泡洗浄 薬液洗浄

洗浄媒体

水系洗浄型 溶剤洗浄型

搬送方式

バッチ型 インライン型

乾燥方式

温風乾燥型 真空乾燥型

消費電力 kW

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500

電源電圧 V

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 260

タンク容量

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 4,500

洗浄液

アルカリ性界面活性剤 ゲルピカラボ スチーム パインアルファ プロピレングリコール 市水 純水 水石鹸液 精製水 専用アルカリ洗剤 専用酵素洗剤 中性洗剤 溶剤

対象ワーク

ウェハー オリコン カブ ガラス瓶 クレート ゴボウ コンテナ プラスチックトレー マスク メタルマスク 基板 金型 人参 大根

駆動方式

ダブルモーター エア駆動 シングルモーター ギヤ駆動 軸流タービン コンベア駆動 ペルトン型タービン トリプルウォッシュ スパイラル搬送

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

会社概要

私たち株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズは、大日本スクリーン製造株式会社（現、株式会社SCREENホールディングス）の半導体事業を全て承継し、半導体製造装置の専業メーカーとしてスタートしました。

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  • 本社所在地: 京都府

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