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ライン構成がフレキシブルな高スループット バッチ式洗浄システム ウェットステーション WS-620C/ WS-820C/ WS-820L-WS-620C
ライン構成がフレキシブルな高スループット バッチ式洗浄システム ウェットステーション WS-620C/ WS-820C/ WS-820L-株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ライン構成がフレキシブルな高スループット バッチ式洗浄システム ウェットステーション WS-620C/ WS-820C/ WS-820L
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ



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この製品について

特長

■2タイプの搬送方式を準備

キャリア搬送処理のWS-620C (150mmウェーハ用) / WS-820C (200mmウェーハ用) と、キャリアレス搬送処理のWS-820L (200mmウェーハ用) を提供します。

■フレキシブルな設計

目的に応じて、自由なシステム構成が可能。処理槽構成は最大13槽まで可能です。

■高スループット

複数槽設置と最大6台まで搭載可能な搬送ロボットにより、高スループットを実現します。

■高品質処理

処理槽設計の最適化や厳しい薬液管理、クリーンな乾燥部などにより、安定した高品質な処理が可能です。

■周辺機器も充実

ウェーハ移載機、カセットストッカなどの周辺機器も多種準備しています。

■ウォータマークを抑制

減圧乾燥装置が搭載可能なため、ウォータマークの発生を低減したクリーンな乾燥ができます。 (WS-820Lのみ対応)

  • シリーズ

    ライン構成がフレキシブルな高スループット バッチ式洗浄システム ウェットステーション WS-620C/ WS-820C/ WS-820L

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ライン構成がフレキシブルな高スループット バッチ式洗浄システム ウェットステーション WS-620C/ WS-820C/ WS-820L 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
ライン構成がフレキシブルな高スループット バッチ式洗浄システム ウェットステーション WS-620C/ WS-820C/ WS-820L-品番-WS-620C

WS-620C

要見積もり

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洗浄装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#除菌殺菌 #乾燥 #精密洗浄 #異物除去 #脱脂 #油分除去 #容器洗浄 #タンク洗浄

洗浄方式

超音波洗浄型 スプレー洗浄型 浸漬洗浄型 真空洗浄型 アーチ旋回洗浄 スチーム洗浄 ブラシ洗浄 温水洗浄 乾式洗浄 高圧洗浄 循環洗浄 洗剤洗浄 超音波洗浄 噴射洗浄 泡洗浄 薬液洗浄

洗浄媒体

水系洗浄型 溶剤洗浄型

搬送方式

バッチ型 インライン型

乾燥方式

温風乾燥型 真空乾燥型

消費電力 kW

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500

電源電圧 V

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 260

タンク容量

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 4,500

洗浄液

アルカリ性界面活性剤 ゲルピカラボ スチーム パインアルファ プロピレングリコール 市水 純水 水石鹸液 精製水 専用アルカリ洗剤 専用酵素洗剤 中性洗剤 溶剤

対象ワーク

ウェハー オリコン カブ ガラス瓶 クレート ゴボウ コンテナ プラスチックトレー マスク メタルマスク 基板 金型 人参 大根

駆動方式

ダブルモーター エア駆動 シングルモーター ギヤ駆動 軸流タービン コンベア駆動 ペルトン型タービン トリプルウォッシュ スパイラル搬送

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

私たち株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズは、大日本スクリーン製造株式会社(現、株式会社SCREENホールディングス)の半導体事業を全て承継し、半導体製造装置の専業メーカーとしてスタートしました。

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  • 本社所在地: 京都府
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