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小型蒸着装置 VDE-300-VDE-300
小型蒸着装置 VDE-300-株式会社エピクエスト

小型蒸着装置 VDE-300
株式会社エピクエスト



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この製品について

架台内にターボ分子ポンプ、ロータリーポンプ、ピラニ真空計、電離真空計などをコンパクトに収納した小型の真空蒸着装置です。大型の排気口を有しており、短時間で真空排気することが可能です。

  • シリーズ

    小型蒸着装置 VDE-300

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小型蒸着装置 VDE-300 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 到達圧力 ベルジャー
小型蒸着装置 VDE-300-品番-VDE-300

VDE-300

要見積もり

6.6×10^-4Pa

φ300×H300

フィルターから探す

蒸着装置をフィルターから探すことができます

排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1000 1000 - 3000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社エピクエストは2000年に設立し、主にMBE装置、MOCVD装置の開発、製造を行っている会社です。 MBEやMOCVD装置は、天然にない人工結晶を作製する技術であるエピキタシー技術を基盤としており、結晶を成...

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  • 本社所在地: 京都府
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