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グローブボックス組込真空蒸着装置 MPVAP-Glovebox-MPVAP-Glovebox
グローブボックス組込真空蒸着装置 MPVAP-Glovebox-株式会社マイクロフェーズ

グローブボックス組込真空蒸着装置 MPVAP-Glovebox
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この製品について

水分や酸素を嫌う試料を大気に曝されずに、その表面に金属膜を真空蒸着して回収したい場合があります。 しかし、従来の真空蒸着装置では、この目的が実現できません。 このような試料は通常は不活性ガスで満たされているグローブボックスの中で保管や取り扱われているため、 大気雰囲気に置かれている真空蒸着装置に試料設置準備ができないからです。 当社は、当社製の真空蒸着装置の周りに、透明アクリル製グローブボックスを取り付け、グローブボックスを介して、試料の設置や回収を可能にした。 お客様のグローブボックスにて窒素封入した試料容器を、本装置の窒素封入したグローブボックスの中に入れ、その後の一連の試料設置・成膜・試料回収作業を行い、窒素封入した試料容器に戻す。 お客様の既存の真空蒸着装置の仕様に対応させてカスタマイズすることも可能です。

■目的

水分や酸素に晒さずに、試料に金属を成膜するためのグローブボックス付き真空蒸着装置です。

■特徴

・基板試料、粉体試料とも対応可能 ・ 試料の設置から回収まで、すべての工程で、試料を大気に晒さない ・グローブボックス内の酸素濃度をチェックしながらの作業ができ、安心

  • シリーズ

    グローブボックス組込真空蒸着装置 MPVAP-Glovebox

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グローブボックス組込真空蒸着装置 MPVAP-Glovebox 品番1件

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グローブボックス組込真空蒸着装置 MPVAP-Glovebox-品番-MPVAP-Glovebox

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社マイクロフェーズは、カーボンナノチューブ、ナノ材料、ナノテクノロジーの分野の研究開発と、これらを使った事業の支援を行う会社です。 1999年に設立して、2002年に筑波大学発ベンチャーとして認定されました。さま...

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  • 本社所在地: 茨城県

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