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高機能真空蒸着装置 MPVAP-MPVAP
高機能真空蒸着装置 MPVAP-株式会社マイクロフェーズ

高機能真空蒸着装置 MPVAP
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この製品について

当社発案の360度回転キュービック基板ホルダーを搭載し、試料設置面積を4倍向上させました。 真空を破らず、1回のプロセスで、4つの成膜条件のサンプルが作製できます。 膜厚依存性や蒸着条件依存性を調べるのに非常に便利な機能です。 SEM観察用試料の作製など3次元試料表面への蒸着を行う場合、試料ホルダーを回転しながら蒸着することにより、 3次元試料の各方向からの蒸着を実現することができ、明瞭なSEM立体観察が可能になります。 さらに、縦型専用持具を取り付ければ、1回のプロセスで基板の両面に蒸着することも可能になります。 また、この回転ホルダーをうまく利用すると、蒸発源シャッターの開閉に伴う膜厚センサーへの 輻射熱変動問題を回避することができ、忠実かつ精密な膜厚データが得られます。 専門的な話になりますが、通常使われている水晶振動型膜厚モニターの膜厚表示データは、センサーの温度変動に敏感に反応します。 蒸発源シャッターを開閉する瞬間、高温の蒸発坩堝からのセンサーへの輻射熱変動も同時に発生するため、実際の膜厚と異なるデータが示されます。 回転ホルダー を使う場合、シャッターを最初から開けっ放しにしておき、蒸発源坩堝の温度が平衡状態になった状態でキュービックホルダーを回転させれば、 基板への蒸着開始・終了を実現でき、センサーへの輻射熱の変動が生じません。

■目的

基板状の試料表面に各種金属薄膜を成膜し、膜厚が正確に制御でき真空蒸着装置です。

■特徴:

・当社独自開発の360℃回転キュービック試料ホルダーを搭載、蒸着効率が4倍向上 ・水晶振動型膜厚モニターを搭載、上記ホルダーとの相乗効果で、より精密な膜厚が制御可能 ・上記ホルダーにより、斜め蒸着、両面蒸着が可能 ・2種類の蒸発源を搭載、多層膜が形成可能 ・自動スタートボタンで、操作簡単

  • シリーズ

    高機能真空蒸着装置 MPVAP

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会社概要

株式会社マイクロフェーズは、カーボンナノチューブ、ナノ材料、ナノテクノロジーの分野の研究開発と、これらを使った事業の支援を行う会社です。 1999年に設立して、2002年に筑波大学発ベンチャーとして認定されました。さま...

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