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返答率
100.0%
平均返答時間
366.4時間
シリーズ
基板回転による優れた膜厚分布および再現性を実現 Epitaxial-EB蒸着装置取扱企業
ジャパンクリエイト株式会社カテゴリ
利用シーン
電子・電気機器業界用 / 化学業界用もっと見る
蒸着装置の製品70点中、注目ランキング上位6点
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平均返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 基板サイズ | 基板加熱温度 | 蒸着材料 | 真空排気 | 膜厚コントロール | 制御操作 | データロギング | 基板搬送 | オプション |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
Epitaxial-EB蒸着装置 |
要見積もり |
最大φ12インチ |
700℃ (基板表面) |
金属または酸化物 |
CP+DP |
水晶式膜厚センサ |
制御：PLC |
外部メモリまたはPC |
真空搬送ロボット |
基板加熱900℃ (基板表面)、基板冷却、基板バイアス、基板回転、抵抗加熱蒸発源 (最大6台) 、反応ガス供給ユニット など |
