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電子ビーム真空蒸着装置 3KVイオン銃電源
アトーテック株式会社



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この製品について

SPUTTER ION SOURCE 3KVイオン銃 (SIG030) 用制御電源は、オートエミッション機構を有し、安定したイオン源です。

  • シリーズ

    電子ビーム真空蒸着装置 3KVイオン銃電源

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電子ビーム真空蒸着装置 3KVイオン銃電源 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 加速電源 イオン化電源 フィラメント電源 レンズ電源 入力電源 インターロック機構 電源ケース

IGP030

要見積もり

+3KV 2mA

+150V 0.3A

AC20V 5A (オートエミッション)

-3KV 0.5mA

AC100V

標準装備

JIS150×480×430

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

アトーテック株式会社は、1989年に設立された真空装置メーカーです。 一般社団法人日本真空学会に加盟し、半導体製造などに用いられる容器の内部から気体を排出させて、容器内を真空状態にする真空ポンプや、半導体製造や医薬品の...

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  • 本社所在地: 東京都
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