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電子ビーム真空蒸着装置 3KVイオン銃電源
アトーテック株式会社



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この製品について

SPUTTER ION SOURCE 3KVイオン銃 (SIG030) 用制御電源は、オートエミッション機構を有し、安定したイオン源です。

  • シリーズ

    電子ビーム真空蒸着装置 3KVイオン銃電源

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電子ビーム真空蒸着装置 3KVイオン銃電源 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 加速電源 イオン化電源 フィラメント電源 レンズ電源 入力電源 インターロック機構 電源ケース

IGP030

要見積もり

+3KV 2mA

+150V 0.3A

AC20V 5A (オートエミッション)

-3KV 0.5mA

AC100V

標準装備

JIS150×480×430

フィルターから探す

蒸着装置をフィルターから探すことができます

排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1000 1000 - 3000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

アトーテック株式会社は、1989年に設立された真空装置メーカーです。 一般社団法人日本真空学会に加盟し、半導体製造などに用いられる容器の内部から気体を排出させて、容器内を真空状態にする真空ポンプや、半導体製造や医薬品の...

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  • 本社所在地: 東京都
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