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電子ビーム真空蒸着装置 3KVイオン銃-SIG030
電子ビーム真空蒸着装置 3KVイオン銃-アトーテック株式会社

電子ビーム真空蒸着装置 3KVイオン銃
アトーテック株式会社



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この製品について

3KVイオン銃は、超高真空中で試料表面のクリーニングを目的として「Arスパッタイオン銃」で、薄膜作成準備、表面分析の実験研究用として利用されています。

  • シリーズ

    電子ビーム真空蒸着装置 3KVイオン銃

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電子ビーム真空蒸着装置 3KVイオン銃 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ビーム電圧 フィラメント電流 ビーム径 ビーム電流 動作真空度 べーク温度 取付フランジ
電子ビーム真空蒸着装置 3KVイオン銃-品番-SIG030

SIG030

要見積もり

3KV

5A

φ10mm (MAX)

25μA

E-3Pa台 (Ar)

250℃ (単体)

ICF114

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

アトーテック株式会社は、1989年に設立された真空装置メーカーです。 一般社団法人日本真空学会に加盟し、半導体製造などに用いられる容器の内部から気体を排出させて、容器内を真空状態にする真空ポンプや、半導体製造や医薬品の...

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  • 本社所在地: 東京都
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