電子ビーム真空蒸着装置 3KVイオン銃
アトーテック株式会社

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この製品について

3KVイオン銃は、超高真空中で試料表面のクリーニングを目的として「Arスパッタイオン銃」で、薄膜作成準備、表面分析の実験研究用として利用されています。

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商品画像	品番	価格 (税抜)	ビーム電圧	フィラメント電流	ビーム径	ビーム電流	動作真空度	べーク温度	取付フランジ
	SIG030	要見積もり	3KV	5A	φ10mm (MAX)	25μA	E-3Pa台 (Ar)	250℃ (単体)	ICF114

会社概要

アトーテック株式会社は、1989年に設立された真空装置メーカーです。一般社団法人日本真空学会に加盟し、半導体製造などに用いられる容器の内部から気体を排出させて、容器内を真空状態にする真空ポンプや、半導体製造や医薬品の...