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電子ビーム真空蒸着装置 マグネトロンスパッター装置-MSP-20-AT型
電子ビーム真空蒸着装置 マグネトロンスパッター装置-アトーテック株式会社

電子ビーム真空蒸着装置 マグネトロンスパッター装置
アトーテック株式会社



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この製品について

■特徴

・電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置です。 ・超高分解能SEMにおいて超高倍率の観察に活躍します。 (20万倍以上) ・試料反転機構を装備し、グリッドメッシュの両面に連続でコーティングが可能です。 ・貴金属/Mo/Cr/Ni/Ta/Cu/Tiなどの金属板 (オプション) をコーティングすることが可能です。 ・空冷式マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にし、ターゲットの温度上昇を防ぎます。 ・雰囲気ガスはアルゴンガスを使用。 ・条件出しの際の操作をより簡単にしたボタンレイアウト。 ・条件出し完了後はボタン1つでフルオート動作。 (貴金属のみ) ・インターロック、安全機構が充実した高性能コーティング装置。

  • シリーズ

    電子ビーム真空蒸着装置 マグネトロンスパッター装置

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電子ビーム真空蒸着装置 マグネトロンスパッター装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
電子ビーム真空蒸着装置 マグネトロンスパッター装置-品番-MSP-20-AT型

MSP-20-AT型

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

アトーテック株式会社は、1989年に設立された真空装置メーカーです。 一般社団法人日本真空学会に加盟し、半導体製造などに用いられる容器の内部から気体を排出させて、容器内を真空状態にする真空ポンプや、半導体製造や医薬品の...

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  • 本社所在地: 東京都
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