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MBE装置-MBE装置
MBE装置-アリオス株式会社

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この製品について

■概要

アリオスは、MBE装置の製造に20年以上の実績を有するプロ集団です。アリオスのMBE装置は、基板サイズ1”~6”、Ⅲ-Ⅵ族に対応。お客様の要求仕様に応じた、きめ細やかな設計、製造を行います。また、分子線セル、RHEED、BFM、基板加熱機構等の主要部品から制御ユニットまで、一貫して自社にて製造しています。 これにより、短納期、高品質の特注品製作が可能です。装置のご相談はもちろん、メンテナンス、改造などMBE装置でお困りのことがありましたらご相談ください。

■特徴

・クリーンな真空での成膜が可能―アリオスの超高真空技術に加え、分子線セル、基板加熱機構等の主要部品の加熱脱ガス処理を徹底しています。 ・選べる豊富なオプション―RHEED、BFM、ラジカル源など豊富にご用意しています。 ・排気操作、プロセス操作の自動運転―タッチパネル、シーケンサーによる自動運転が可能です。 ・搬送系の利便性―トロッコ搬送、トランスファー搬送に対応できます。また、自動搬送も可能です。

■取り付け可能なコンポーネント

RHEED、分子線セル、マイクロ波イオン源など全てアリオス自社製品のため柔軟な対応が可能です。

  • シリーズ

    MBE装置

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MBE装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 排気系 到達圧力 基板回転加熱機構 分子線セル 材質 チャンバー本体 材質 液体窒素シュラウド 材質 ベローズ部 材質 加熱部 材質 真空内ヒーターリード線 用力 単相 用力 圧縮空気 (バルブ作動用) 用力 乾燥窒素 (大気解放用) 用力 液体窒素
MBE装置-品番-MBE装置

MBE装置

要見積もり

イオンポンプ、ターボ分子ポンプ、TSP、クライオポンプ等、各種ポンプの選択、組み合わせが可能

1×10^-8Pa以下 (成膜室にて液体窒素導入時)

最高800℃ (高温仕様1,000℃) 、1"~6"対応可能

標準4~8本取り付け (φ114CF) 、5cc~100cc、高温~低温まで各種対応可能

SUS 304 (又は 304L 又は 316)

SUS 316L

SUS 304

Mo 及び Ta、Al2 O3 、カーボン

Ag (Au、Ni、Al)

AC100V、三相 : AC200V

0.5~0.7MPa

0.1~0.5MPa

0.05MPa

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

アリオス株式会社は、1972年に創業したプラズマ・真空装置製造メーカーです。 長年のプラズマ発生技術、イオン、電子利用技術開発で培ったノウハウもをとに、成膜装置、ラングミュアプローブ、ダイヤモンドCVD合成装置などの真...

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  • 本社所在地: 東京都
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