MBE装置
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この製品について

■概要アリオスは、MBE装置の製造に20年以上の実績を有するプロ集団です。アリオスのMBE装置は、基板サイズ1”～6”、Ⅲ－Ⅵ族に対応。お客様の要求仕様に応じた、きめ細やかな設計、製造を行います。また、分子線セル、RHEED、BFM、基板加熱機構等の主要部品から制御ユニットまで、一貫して自社にて製造しています。 これにより、短納期、高品質の特注品製作が可能です。装置のご相談はもちろん、メンテナンス、改造などMBE装置でお困りのことがありましたらご相談ください。

■特徴・クリーンな真空での成膜が可能―アリオスの超高真空技術に加え、分子線セル、基板加熱機構等の主要部品の加熱脱ガス処理を徹底しています。
・選べる豊富なオプション―RHEED、BFM、ラジカル源など豊富にご用意しています。
・排気操作、プロセス操作の自動運転―タッチパネル、シーケンサーによる自動運転が可能です。
・搬送系の利便性―トロッコ搬送、トランスファー搬送に対応できます。また、自動搬送も可能です。

■取り付け可能なコンポーネントRHEED、分子線セル、マイクロ波イオン源など全てアリオス自社製品のため柔軟な対応が可能です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
MBE装置

取扱企業
アリオス株式会社

カテゴリ

加工・工作機器

蒸着装置

加工・工作機器

晶析装置

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MBE装置品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	排気系	到達圧力	基板回転加熱機構	分子線セル	材質チャンバー本体	材質液体窒素シュラウド	材質ベローズ部	材質加熱部	材質真空内ヒーターリード線	用力単相	用力圧縮空気 (バルブ作動用)	用力乾燥窒素 (大気解放用)	用力液体窒素
	MBE装置	要見積もり	イオンポンプ、ターボ分子ポンプ、TSP、クライオポンプ等、各種ポンプの選択、組み合わせが可能	1×10^-8Pa以下 (成膜室にて液体窒素導入時)	最高800℃ (高温仕様1,000℃) 、1"~6"対応可能	標準4~8本取り付け (φ114CF) 、5cc~100cc、高温~低温まで各種対応可能	SUS 304 (又は 304L 又は 316)	SUS 316L	SUS 304	Mo 及び Ta、Al2 O3 、カーボン	Ag (Au、Ni、Al)	AC100V、三相： AC200V	0.5~0.7MPa	0.1~0.5MPa	0.05MPa