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MRAM/TMR成膜装置 TIMARIS-TIMARIS
MRAM/TMR成膜装置 TIMARIS-株式会社メディア研究所

MRAM/TMR成膜装置 TIMARIS
株式会社メディア研究所

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この製品について

■特徴

・Ø150/200/300mmウェハ対応ブリッジツールコンセプト ・1デポジションモジュールに10カソード ・直線動作中にデポを行うリニアダイナミックデポジション方式 ・10カソードに対してDC,パルスDC,RFスパッタ ・リアクティブスパッタ機能搭載 ・TMRアプリケーション用表面処理/酸化モジュール

  • シリーズ

    MRAM/TMR成膜装置 TIMARIS

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株式会社メディア研究所は1991年に創業し、海外メーカーとのネットワークを通じて世界最先端の技術や製品、最新の技術情報を提供する技術商社として、フィルム検査、真空・薄膜製造装置を主軸とした事業を展開しています。 取り扱...

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