MRAM/TMR成膜装置 TIMARIS
株式会社メディア研究所
この製品について
■特徴
・Ø150/200/300mmウェハ対応ブリッジツールコンセプト ・1デポジションモジュールに10カソード ・直線動作中にデポを行うリニアダイナミックデポジション方式 ・10カソードに対してDC,パルスDC,RFスパッタ ・リアクティブスパッタ機能搭載 ・TMRアプリケーション用表面処理/酸化モジュール-
シリーズ
MRAM/TMR成膜装置 TIMARIS
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取扱企業
株式会社メディア研究所
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カテゴリ
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MRAM/TMR成膜装置 TIMARIS 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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TIMARIS |
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