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MRAM/TMR成膜装置 TIMARIS-TIMARIS
MRAM/TMR成膜装置 TIMARIS-株式会社メディア研究所

MRAM/TMR成膜装置 TIMARIS
株式会社メディア研究所



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この製品について

■特徴

・Ø150/200/300mmウェハ対応ブリッジツールコンセプト ・1デポジションモジュールに10カソード ・直線動作中にデポを行うリニアダイナミックデポジション方式 ・10カソードに対してDC,パルスDC,RFスパッタ ・リアクティブスパッタ機能搭載 ・TMRアプリケーション用表面処理/酸化モジュール

  • シリーズ

    MRAM/TMR成膜装置 TIMARIS

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MRAM/TMR成膜装置 TIMARIS 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
MRAM/TMR成膜装置 TIMARIS-品番-TIMARIS

TIMARIS

要見積もり

フィルターから探す

成膜装置をフィルターから探すことができます

到達圧力 Pa

0 - 0.01 0.01 - 1 1 - 10

基板サイズ mm

25 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 650

設置面積 m²

1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100

所要電力 kVA

10 - 15 15 - 20 20 - 25 25 - 30 30 - 35

真空槽 mm

500 - 800 800 - 1,000

基板バイアス V

0 - 5,000 5,000 - 25,000

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社メディア研究所は1991年に創業し、海外メーカーとのネットワークを通じて世界最先端の技術や製品、最新の技術情報を提供する技術商社として、フィルム検査、真空・薄膜製造装置を主軸とした事業を展開しています。 取り扱...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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