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真空蒸着装置 HSVシリーズ-HSV-3-30G
真空蒸着装置 HSVシリーズ-入江株式会社

真空蒸着装置 HSVシリーズ
入江株式会社

入江株式会社の対応状況 返信の早い企業

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この製品について

■概要

研究開発用、及び小ロット生産用の抵抗加熱式小型蒸着装置。本シリーズの一部機種には電子ビーム (EB) の搭載も可能です。

■特徴

コンパクトな外観と優れた内部機構、コントロール系を有し、排気系は、手動式及び全自動操作が可能です。誘電体膜 (光学系) から、アルミ、クロムなどの金属膜を容易に形成し、その応用は広範囲です。他に電子ビーム蒸着及び膜厚モニターによる自動蒸着制御タイプ、生産用大型蒸着も製作しております。

  • シリーズ

    真空蒸着装置 HSVシリーズ

企業レビュー 4.9

Metoree経由で見積もり

2025年9月16日にレビュー済み

顧客対応への満足度

早急な回答と確認事項、見積条件等安心して回答まで頂きました。

初回対応までの時間への満足度

0.10時間

Metoree経由で見積もり

2025年6月20日にレビュー済み

顧客対応への満足度

早急に対応して頂いて良かった。今後も利用したいと、おもった

初回対応までの時間への満足度

0.33時間

Metoree経由で見積もり

2024年12月13日にレビュー済み

顧客対応への満足度

当日返信、翌日に概算の見積もりをいただきました。

初回対応までの時間への満足度

13.76時間

Metoree経由で見積もり

2024年5月20日にレビュー済み

顧客対応への満足度

全体的に対応が迅速で、非常に好印象でした。

初回対応までの時間への満足度

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真空蒸着装置 HSVシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 到達圧力 蒸発源 (電極) バルブ操作 真空槽 内部機構 主ポンプ 補助ポンプ 主バルブ
真空蒸着装置 HSVシリーズ-品番-HSV-3-30G

HSV-3-30G

要見積もり

×10-3Pa

2対 10V Max150A

手動

φ300×H300mm
透明ガラス

シャッター機構,抵抗加熱機構

油拡散3inches

150L/min

3inches

フィルターから探す

蒸着装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜

蒸着方式

抵抗加熱蒸着型 電子ビーム蒸着型

成膜環境

真空蒸着型 高真空蒸着型 イナートガス雰囲気型

蒸着材料供給方式

単発源型 多元源型

特徴機能

自動制御型 高速成膜型 高精度厚さ制御型 クリーン対応型

排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1,000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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この商品の取り扱い会社情報

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企業レビュー

4.9

会社概要

入江株式会社は、東京都中央区に本社を置く、製造機械、製造消耗品、測定・検査機器などを販売する、科学技術専門の商社である。
基礎研究分野、大学、半導体エネルギー・液晶産業、二次電池・太陽電池などの新エネルギー、医療...

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  • 本社所在地: 東京都
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