真空蒸着装置 TMP 排気・清浄真空 VE-2030
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この製品について

真空蒸着装置とは、真空雰囲気の中で材料を気化蒸発させ、サンプルに薄膜を成膜する装置です。ターボ分子ポンプを利用した高真空下で成膜することが一般的で、不純物の無い膜を作ることが可能です。

真空デバイスの蒸着装置は、シーケンスプログラム制御された操作で簡単に高真空領域の環境を作ることができ、研究開発に最適な小型で安価なラインナップが特徴です。大気圧から10ｘ10⁻⁴Pa領域までの到達時間はおよそ５分間。従来の古いシステムから切り替えることで研究開発のスピードを加速させます。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
真空蒸着装置 TMP 排気・清浄真空 VE-2030

取扱企業
株式会社真空デバイス

カテゴリ

加工・工作機器

蒸着装置

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真空蒸着装置 TMP 排気・清浄真空 VE-2030 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	真空槽	試料ステージ	加熱用電極柱	ヒータ電源	蒸着可能面積	真空排気系統	真空度測定	到達真空度	安全対策	入力電源	装置サイズ
	VE-2030	要見積もり	内径200mm×高さ270mm、下部110mmは金属製、上部160mmは硬質ガラス製。金属部に内径55mmのサービスポートを設置	直径60mm水平試料台(標準装着)。モーター駆動、回転・傾斜試料台はオプション	2対4本、スイッチ切り換えにより選択使用。柱は着脱自由。絞り焼きボート支持電極1対標準付属。タングステンバスケットによる金属蒸着が可能。チャンバー大気解放時、感電防止の為のインターロックＳＷ付。	AC15V,50A。サイリスタ制御、電流計指示	柱利用、上からの蒸着時＝直径100mm以内。下からの蒸着時＝直径180mm程度まで。	TMP(67L/sec)＋ロータリポンプ(50L/min)	フルレンジ真空計(標準装備)	5×10-4Pa以下	停電時；全電磁バルブ閉、PRにエアリーク。停電回復時；真空系統は停止状態を保持。EVACSTARTで停電前の状態に復帰。回路内過電流対策；15A超でサーキットプロテクタ作動、入力断。PR回路、真空排気系統、電極柱系電源回路別に溶断入力フューズ採用。	AC100V,15A(単相)	幅500mm×奥行き574mm×高さ1073mm。重量=80kg(4輪ストッパー付キャスター装備)