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排気系 / 到達压力
排気系 / 排気時間
操作方法
全自動
排気系 / 主ポンプ
クライオポンプ
型番
AAMH-C1075SBシリーズ
薄膜形成装置 横型蒸着装置取扱企業
神港精機株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 操作方法 | 排気系 / 到達压力 | 排気系 / 排気時間 | 排気系 / 主ポンプ | 成膜系 / 処理量 |
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要見積もり | 全自動 | 5 × 10-⁵Pa以下 | ×10-⁴Pa台まで15分以内 | クライオポンプ | 60基板 × 72枚 |
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