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薄膜形成装置 ロードロック型蒸着装置-神港精機株式会社

AAMF-C1260SB-M | 薄膜形成装置 ロードロック型蒸着装置
神港精機株式会社

搬送方式

排気系 / 到達压力

成膜系 / 処理量

全型番で同じ値の指標

操作方法

全自動

排気系 / 主ポンプ

クライオポンプ

この製品について

電子デバイス用特殊仕様。特別なプロセスやデバイスに特化し基板形状や処理温度を問わず柔軟に対応しています。

  • 型番

    AAMF-C1260SB-M

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薄膜形成装置 ロードロック型蒸着装置 AAMF-C1260SB-Mの性能表

商品画像 価格 (税抜) 操作方法 搬送方式 排気系 / 到達压力 排気系 / 主ポンプ 成膜系 / 処理量
薄膜形成装置 ロードロック型蒸着装置-品番-AAMF-C1260SB-M 要見積もり 全自動 枚葉式 (カセット式) x10-6Pa台 クライオポンプ ¢8インチ × 20枚 / カセット

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排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1,000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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神港精機株式会社

会社概要

神港精機株式会社は1949年に設立した、真空ポンプ・真空装置を中心にアセンブリ装置・光学検査装置を製造するメーカーです。 技術開発型の企業として、「真空技術」を応用した製造装置及びコンポーネントを主軸とした「モノづくり...

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  • 本社所在地: 兵庫県

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