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搬送方式
排気系 / 到達压力
操作方法
全自動
排気系 / 主ポンプ
クライオポンプ
型番
AAMF-C1260SB-Mシリーズ
薄膜形成装置 ロードロック型蒸着装置取扱企業
神港精機株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 操作方法 | 搬送方式 | 排気系 / 到達压力 | 排気系 / 主ポンプ | 成膜系 / 処理量 |
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要見積もり | 全自動 | 枚葉式 (カセット式) | x10-6Pa台 | クライオポンプ | ¢8インチ × 20枚 / カセット |
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