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フロントエンドモジュール (EFEM)
ウエハのロード/アンロード
プラズマプロセスモジュール (PPM)
レジスト表面の硬化層を低温＜60℃、低パワー＜200Wで除去
オゾン水プロセスモジュール (OPM)
レジストを「Rate＞4µm/min」で除去
オゾン水生成モジュール (OGM)
高濃度のオゾン水を生成 (8インチ用：5L/min、12インチ用：8L/min)
加熱モジュール (HWM)
オゾン水を昇温するための加熱装置
チャンバー数
2チャンバ (PPM＋OPM)
ウエハロ径
150/200/300mm対応
カセット数
2カセット
用力 (8”用) 電源
3相、200VAC、200A
用力 (8”用) 純水
0.1MPa、20L/min
用力 (8”用) O2
0.5MPa、10L/min
用力 (8”用) N2
0.7MPa、100L/min
用力 (8”用) CO2
0.5MPa、1L/min
用力 (8”用) CDA
0.7MPa、800L/min
用力 (8”用) 冷却水
0.3MPa、10L/min、16~20℃
用力 (8”用) 市水
0.1MPa、10L/min
型番
AURORA取扱企業
HUGパワー株式会社カテゴリ
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洗浄装置の製品789点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | フロントエンドモジュール (EFEM) | プラズマプロセスモジュール (PPM) | オゾン水プロセスモジュール (OPM) | オゾン水生成モジュール (OGM) | 加熱モジュール (HWM) | チャンバー数 | ウエハロ径 | カセット数 | 用力 (8”用) 電源 | 用力 (8”用) 純水 | 用力 (8”用) O2 | 用力 (8”用) N2 | 用力 (8”用) CO2 | 用力 (8”用) CDA | 用力 (8”用) 冷却水 | 用力 (8”用) 市水 |
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要見積もり | ウエハのロード/アンロード | レジスト表面の硬化層を低温＜60℃、低パワー＜200Wで除去 | レジストを「Rate＞4µm/min」で除去 |
高濃度のオゾン水を生成 (8インチ用：5L/min、12インチ用：8L/min) |
オゾン水を昇温するための加熱装置 | 2チャンバ (PPM＋OPM) | 150/200/300mm対応 | 2カセット | 3相、200VAC、200A | 0.1MPa、20L/min | 0.5MPa、10L/min | 0.7MPa、100L/min | 0.5MPa、1L/min | 0.7MPa、800L/min | 0.3MPa、10L/min、16~20℃ | 0.1MPa、10L/min |
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洗浄媒体が水系洗浄型の製品
洗浄装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#除菌殺菌 #乾燥 #精密洗浄 #異物除去 #脱脂 #油分除去 #容器洗浄 #タンク洗浄洗浄方式
超音波洗浄型 スプレー洗浄型 浸漬洗浄型 真空洗浄型 アーチ旋回洗浄 スチーム洗浄 ブラシ洗浄 温水洗浄 乾式洗浄 高圧洗浄 循環洗浄 洗剤洗浄 超音波洗浄 噴射洗浄 泡洗浄 薬液洗浄洗浄媒体
水系洗浄型 溶剤洗浄型搬送方式
バッチ型 インライン型乾燥方式
温風乾燥型 真空乾燥型消費電力 kW
0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500電源電圧 V
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 260タンク容量
0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 4,500洗浄液
アルカリ性界面活性剤 ゲルピカラボ スチーム パインアルファ プロピレングリコール 市水 純水 水石鹸液 精製水 専用アルカリ洗剤 専用酵素洗剤 中性洗剤 溶剤対象ワーク
ウェハー オリコン カブ ガラス瓶 クレート ゴボウ コンテナ プラスチックトレー マスク メタルマスク 基板 金型 人参 大根駆動方式
ダブルモーター エア駆動 シングルモーター ギヤ駆動 軸流タービン コンベア駆動 ペルトン型タービン トリプルウォッシュ スパイラル搬送
