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立体物に成膜可能 立体物対応実験用プラズマCVD装置-株式会社DINOVAC

立体物対応実験用プラズマCVD装置 | 立体物に成膜可能 立体物対応実験用プラズマCVD装置
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この製品について

■用途・特徴

・立体物に成膜可能な実験用プラズマCVD装置 ・対応可能膜種：DLC、アモルファスSiC等 ・基材加熱機構付き (最高設定温度：500℃) ・PC操作 (シーケンサー制御) で、全自動、データロギング 当社では実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて装置を設計、製造いたします。「こういう形の物に膜をつけられる装置」、「こういう事が出来る装置」など、ご要望をお聞かせいただき、最適な装置をご提案させていただきます。 一から設計しますので、お手持ちのポンプをご支給頂いたり、このメーカのバルブを使って欲しいなどのご要望にも柔軟に対応いたします。

  • 型番

    立体物対応実験用プラズマCVD装置

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立体物に成膜可能 立体物対応実験用プラズマCVD装置 立体物対応実験用プラズマCVD装置の性能表

商品画像 価格 (税抜) 供給ガス圧力 到達真空度 ガス導入系 接地 制御 / 操作 真空チャンバー 材質 真空ポンプ ランプ加熱 高周波出力 電気容量 整合方式 排気圧コントロール
立体物に成膜可能 立体物対応実験用プラズマCVD装置-品番-立体物対応実験用プラズマCVD装置 要見積もり 0.1MPa~0.2MPa 1Pa以下 Ar、O2、CVD用ガス A種アース PLC制御 / PC操作 ステンレス製 ロータリーポンプ＋メカニカルブースターポンプ 最高設定温度500℃ 最大1kW 三相AC200V 50A 自動整合方式 手動 (オプションで自動可)

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