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排気系
イオンポンプ、ターボ分子ポンプ、TSP、クライオポンプ等、各種ポンプの選択、組み合わせが可能
到達圧力
1×10^-8Pa以下 (成膜室にて液体窒素導入時)
基板回転加熱機構
最高800℃ (高温仕様1,000℃) 、1"~6"対応可能
分子線セル
標準4~8本取り付け (φ114CF) 、5cc~100cc、高温~低温まで各種対応可能
材質 チャンバー本体
SUS 304 (又は 304L 又は 316)
材質 液体窒素シュラウド
SUS 316L
材質 ベローズ部
SUS 304
材質 加熱部
Mo 及び Ta、Al2 O3 、カーボン
材質 真空内ヒーターリード線
Ag (Au、Ni、Al)
用力 単相
AC100V、三相 ： AC200V
用力 圧縮空気 (バルブ作動用)
0.5~0.7MPa
用力 乾燥窒素 (大気解放用)
0.1~0.5MPa
用力 液体窒素
0.05MPa
型番
MBE装置シリーズ
MBE装置取扱企業
アリオス株式会社カテゴリ
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蒸着装置の製品121点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 排気系 | 到達圧力 | 基板回転加熱機構 | 分子線セル | 材質 チャンバー本体 | 材質 液体窒素シュラウド | 材質 ベローズ部 | 材質 加熱部 | 材質 真空内ヒーターリード線 | 用力 単相 | 用力 圧縮空気 (バルブ作動用) | 用力 乾燥窒素 (大気解放用) | 用力 液体窒素 |
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要見積もり | イオンポンプ、ターボ分子ポンプ、TSP、クライオポンプ等、各種ポンプの選択、組み合わせが可能 | 1×10^-8Pa以下 (成膜室にて液体窒素導入時) | 最高800℃ (高温仕様1,000℃) 、1"~6"対応可能 | 標準4~8本取り付け (φ114CF) 、5cc~100cc、高温~低温まで各種対応可能 | SUS 304 (又は 304L 又は 316) | SUS 316L | SUS 304 | Mo 及び Ta、Al2 O3 、カーボン | Ag (Au、Ni、Al) | AC100V、三相 ： AC200V | 0.5~0.7MPa | 0.1~0.5MPa | 0.05MPa |
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使用用途がMBEの製品
蒸着装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜排気時間 分
10 - 15 15 - 20 20 - 25排気系主ポンプ
クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ操作方法
全自動 手動 自動基板サイズ mm
50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000チャンバーサイズ mm
150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400蒸発方式
抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱基板加熱温度 ℃
100 - 500 500 - 800 800 - 1,000膜厚分布 %
1 - 5 5 - 15
