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返答率
100.0%
返答時間
125.8時間
到達圧力
10-4
排気時間
4.0×10-3Pa/20min
真空槽
円筒型ガラスチャンバー (φ236mm×H250mm)
フィードスルカラー
7ポート (底面)
基板推奨サイズ・最大サイズ※2
□50mm ・ □120mm (Max)
基板/電極間距離
Max 200mm
蒸発電極構成
1点式
蒸発電極
SEREM PSE-150C・1 式 0-10V 80A (Max)
メインポンプ
ターボ分子ポンプ 60L/sec
補助ポンプ
油回転真空ポンプ 20L/min
オイルミストトラップ
OMT-050A
メインバルブ
オプション (バタフライバルブ)
補助バルブ
オプション (三方向バルブ)
自動リークバルブ
オプション
操作
手動
膜厚計
オプション (CRTM-6000G)
最大寸法 (mm)
428 (W) × 438 (L) × 713 (H)
質量 (kg)
50
最大寸法 (電源) (mm)
480 (W) × 435.3 (D) × 149 (H)
質量 (電源) (kg)
24
所要電気量 (本体)
単相 (100V) (50/60Hz) : 0.6kVA
所要電気量 (電源)
単相 (100V) (50/60Hz) : 0.8kVA
取り合い (本体)
単相 (100V) : ビニルキャプタイヤケーブル (プラグ付) 4m
取り合い (電源)
単相 (100V) : ビニルキャプタイヤケーブル (プラグ付) 4m
型番
VTR-060M/ERH取扱企業
アルバック販売株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 到達圧力 | 排気時間 | 真空槽 | フィードスルカラー | 基板推奨サイズ・最大サイズ※2 | 基板/電極間距離 | 蒸発電極構成 | 蒸発電極 | メインポンプ | 補助ポンプ | オイルミストトラップ | メインバルブ | 補助バルブ | 自動リークバルブ | 操作 | 膜厚計 | 最大寸法 (mm) | 質量 (kg) | 最大寸法 (電源) (mm) | 質量 (電源) (kg) | 所要電気量 (本体) | 所要電気量 (電源) | 取り合い (本体) | 取り合い (電源) |
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要見積もり | 10-4 | 4.0×10-3Pa/20min | 円筒型ガラスチャンバー (φ236mm×H250mm) | 7ポート (底面) | □50mm ・ □120mm (Max) | Max 200mm | 1点式 | SEREM PSE-150C・1 式 0-10V 80A (Max) | ターボ分子ポンプ 60L/sec | 油回転真空ポンプ 20L/min | OMT-050A | オプション (バタフライバルブ) | オプション (三方向バルブ) | オプション | 手動 | オプション (CRTM-6000G) | 428 (W) × 438 (L) × 713 (H) | 50 | 480 (W) × 435.3 (D) × 149 (H) | 24 | 単相 (100V) (50/60Hz) : 0.6kVA | 単相 (100V) (50/60Hz) : 0.8kVA | 単相 (100V) : ビニルキャプタイヤケーブル (プラグ付) 4m | 単相 (100V) : ビニルキャプタイヤケーブル (プラグ付) 4m |
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