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100.0%
返答時間
24.9時間
ヒーター
シース型
最高動作安定温度
500℃
温度安定性
±0.2℃
熱電対
K型 (C/A)
ルツボ材質
シェイパル、高密度カーボン、アルミナ、石英ガラス、AlN
ルツボ容量
1cc
冷却方式
水冷ジャケット付 (SUS1/4“管)
シャッター機構
手動式／圧空式 (オプション)
面内分布
有機膜：±2.5%
材料効率
0.2gの材料にて、1Å/sのレートで50nmの成膜を5回以上可能
蒸着レート
0.01Å/sが容易に可能 (Inficon社製膜厚計を推奨)
TS間距離
基板から蒸着源までの推奨長は250mm
オーバーシュート値
0.2℃以下
接続フランジ
ICF-70FH
加熱制御温度
100℃~500℃
型番
KOD-Cellシリーズ
有機蒸着セル KOD-Cell取扱企業
北野精機株式会社カテゴリ
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蒸着装置の製品137点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | ヒーター | 最高動作安定温度 | 温度安定性 | 熱電対 | ルツボ材質 | ルツボ容量 | 冷却方式 | シャッター機構 | 面内分布 | 材料効率 | 蒸着レート | TS間距離 | オーバーシュート値 | 接続フランジ | 加熱制御温度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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¥480,000 | シース型 | 500℃ | ±0.2℃ | K型 (C/A) | シェイパル、高密度カーボン、アルミナ、石英ガラス、AlN | 1cc | 水冷ジャケット付 (SUS1/4“管) | 手動式／圧空式 (オプション) | 有機膜：±2.5% | 0.2gの材料にて、1Å/sのレートで50nmの成膜を5回以上可能 | 0.01Å/sが容易に可能 (Inficon社製膜厚計を推奨) | 基板から蒸着源までの推奨長は250mm | 0.2℃以下 | ICF-70FH | 100℃~500℃ |
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使用用途が有機エレクトロニクスの製品
蒸着装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜蒸着方式
抵抗加熱蒸着型 電子ビーム蒸着型成膜環境
真空蒸着型 高真空蒸着型 イナートガス雰囲気型蒸着材料供給方式
単発源型 多元源型特徴機能
自動制御型 高速成膜型 高精度厚さ制御型 クリーン対応型排気時間 分
10 - 15 15 - 20 20 - 25排気系主ポンプ
クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ操作方法
全自動 手動 自動基板サイズ mm
50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000チャンバーサイズ mm
150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400蒸発方式
抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱基板加熱温度 ℃
100 - 500 500 - 800 800 - 1,000膜厚分布 %
1 - 5 5 - 15
