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返答率
100.0%
返答時間
27.0時間
適合クリーンルーム
Class 10
チャンバーサイズ (約) W×D×H
41×46×41 cm
本体サイズ (約) W×D×H
116×98×113 cm
キャパシティ (ウェハの場合、25枚/カセット)
4″,6″ ウェハ 8カセット 8″ ウェハ 2カセット 12″ ウェハ 1カセット
キャパシティ (スライドの場合トレイ&シェルフが要)
約2,000枚
スループット
1バッチ / 時 (設定するレシピにより異なります)
動作温度
常温 – 205℃
温度安定性
± 5℃
薬品数 (フラスク数)
2個 (オプション最大3個)
薬品使用量
0.1 – 3ml
マスフローコントローラ
オプション最大3個
レシピ数
・CVD : 6レシピ ・プラズマ : 4レシピ
プロセス時間
1 – 999,999 秒
時間設定分解能
1秒
RFプラズマ周波数
40kHz
RFプラズマパワー
100 -1,000W
プラズマガス入力ポート
3個
プロセスガス入力ポート
1個
電源
単相 208V, 30A, 60Hz
型番
EcoCoat取扱企業
ハイソル株式会社カテゴリ
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半導体製造装置の製品180点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
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商品画像 | 価格 (税抜) | 適合クリーンルーム | チャンバーサイズ (約) W×D×H | 本体サイズ (約) W×D×H | キャパシティ (ウェハの場合、25枚/カセット) | キャパシティ (スライドの場合トレイ&シェルフが要) | スループット | 動作温度 | 温度安定性 | 薬品数 (フラスク数) | 薬品使用量 | マスフローコントローラ | レシピ数 | プロセス時間 | 時間設定分解能 | RFプラズマ周波数 | RFプラズマパワー | プラズマガス入力ポート | プロセスガス入力ポート | 電源 |
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要見積もり | Class 10 | 41×46×41 cm | 116×98×113 cm |
4″,6″ ウェハ 8カセット 8″ ウェハ 2カセット 12″ ウェハ 1カセット |
約2,000枚 | 1バッチ / 時 (設定するレシピにより異なります) | 常温 – 205℃ | ± 5℃ | 2個 (オプション最大3個) | 0.1 – 3ml | オプション最大3個 |
・CVD : 6レシピ ・プラズマ : 4レシピ |
1 – 999,999 秒 | 1秒 | 40kHz | 100 -1,000W | 3個 | 1個 | 単相 208V, 30A, 60Hz |
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