ERH
三弘エマテック株式会社

三弘エマテック株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

32.5時間

企業レビュー

5.0

返信の比較的早い企業

全型番で同じ値の指標

メーカー

アルバック機工 (株)

到達圧力

10-4Pa

排気時間

4.0×10-3Pa/20min

真空層

円筒型ガラスチャンバー (φ236mm×H250mm)

フィードスルーカラー

7ポート (底面)

基盤推奨サイズ

□50mm ・ □120mm (Max)

基板/電極間距離

Max 200mm

蒸発電極構成

1点式

蒸発電極

SEREM PSE-150C・1 式 0-10V 80A (Max)

メインポンプ

ターボ分子ポンプ 60L/sec

補助ポンプ

油回転真空ポンプ 20L/min

オイルミストトラップ

OMT-050A

メインバルブ

オプション (バタフライバルブ)

補助バルブ

オプション (三方向バルブ)

自動リークバルブ

オプション

操作

手動

膜厚計

オプション (CRTM-6000G)

最大寸法 (mm)

428 (W) × 438 (L) × 713 (H)

質量 (kg)

最大寸法 (mm) 電源部

480 (W) × 435.3 (D) × 149 (H)

質量 (kg) 電源部

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この製品について

■製品説明架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。クリーン排気で基礎研究開発等の実験用に最適です。

■特徴卓上に設置できるコンパクトなサイズで、ターボ分子ポンプを搭載しています。スイッチ操作だけで高真空排気が可能で、多層膜蒸着や基板回転もできる高い拡張性を持っています。低融点金属の蒸着に最適です。この製品は、基礎研究開発等の実験用に最適で、クリーン排気であるため、クリーンルーム内でも使用できます。

型番
VTR-060M/ERH

シリーズ
小型蒸着装置 VTR-060M/ERH

取扱企業
三弘エマテック株式会社

カテゴリ

加工・工作機器

蒸着装置

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2024年9月6日にレビュー済み

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小型蒸着装置 VTR-060M/ERH VTR-060M/ERHの性能表

商品画像	価格 (税抜)	メーカー	到達圧力	排気時間	真空層	フィードスルーカラー	基盤推奨サイズ	基板/電極間距離	蒸発電極構成	蒸発電極	メインポンプ	補助ポンプ	オイルミストトラップ	メインバルブ	補助バルブ	自動リークバルブ	操作	膜厚計	最大寸法 (mm)	質量 (kg)	最大寸法 (mm) 電源部	質量 (kg) 電源部
	要見積もり	アルバック機工 (株)	10-4Pa	4.0×10-3Pa/20min	円筒型ガラスチャンバー (φ236mm×H250mm)	7ポート (底面)	□50mm ・ □120mm (Max)	Max 200mm	1点式	SEREM PSE-150C・1 式 0-10V 80A (Max)	ターボ分子ポンプ 60L/sec	油回転真空ポンプ 20L/min	OMT-050A	オプション (バタフライバルブ)	オプション (三方向バルブ)	オプション	手動	オプション (CRTM-6000G)	428 (W) × 438 (L) × 713 (H)	50	480 (W) × 435.3 (D) × 149 (H)	24