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ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ-三弘エマテック株式会社

三弘エマテック株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

32.5時間

返信の比較的早い企業

全型番で同じ値の指標

メーカー

(株) アルバック

排気口

KF40

到達圧力【Pa】

1×10-7乗台

回転数可変機構

ポンプの規定回転数の25%~100%の間で運転回転数の変更可能

取付方向

全方位取付可能

表面処理

無し

コントローラ 構成

ポンプ本体と一体 (底部に内蔵)

コントローラ 電源

単相AC200V~240V±10% (50~60Hz ±2Hz)

冷却方式

水冷

冷却水流量【L/min】

3~4

冷却水水圧【MpaG】

0.2~0.4

適合規格

CE、TUVus

選択仕様 ACケーブル

ACコネクタ/ACケーブル (5m/10m/15m/20m)

オプション品

ガスポート用アダプタKF10

この製品について

■製品説明

磁気軸受採用のコントローラ一体型ターボ分子ポンプ。ポンプ本体、コントローラを一体にする事で、省配線、省スペースを実現しております。

■特徴

ポンプ本体とコントローラが一体型のため、面倒な配線の引き回しが不要です。取付方向に制限が無く、自由な方向に取付可能のため装置設計の際の自由度が上がります。ライトプロセスに適した広域大流量設計です。ポンプ回転数変更可能。回転数25~100%の範囲で、チャンバーの圧力調整が可能です。大気突入試験をはじめ、タッチダウン試験などの各種安全性を確認する試験をクリア。

  • 型番

    UTM2300A

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2024年9月6日にレビュー済み

顧客対応への満足度

迅速な回答、説明があった。

初回対応までの時間への満足度

27.47時間


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返答率: 100.0%

返答時間: 32.5時間


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ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ UTM2300Aの性能表

商品画像 価格 (税抜) メーカー 吸気口 排気口 到達圧力【Pa】 排気速度【L/sec】 圧縮比 最大給気口圧力【Pa】 最大排気口圧力【Pa】 回転数【min-1】 回転数可変機構 起動時間【min】 取付方向 表面処理 外部制御 (リモートインターフェース) 外部制御 (シリアルインターフェース) コントローラ 構成 コントローラ 電源 コントローラ 最大所要動力 冷却方式 冷却水流量【L/min】 冷却水水圧【MpaG】 騒音【dB (A) 】 質量【Kg】 推奨補助ポンプ 適合規格 選択仕様 ACケーブル 選択仕様 ポンプ固定用特殊ボルト要否 オプション品 標準付属品
ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ-品番-UTM2300A 要見積もり (株) アルバック VG250、ISO250F KF40 1×10-7乗台 N2→2,100、Ar→2,000、H2→1,380 N2→1×10^8以上、He→5×10^3、H2→9×10^2 4.5 200 33,700 ポンプの規定回転数の25%~100%の間で運転回転数の変更可能 9 全方位取付可能 無し D-sub37ピンメス 接点入出力 D-sub9ピンオス RS232C/RS485 ポンプ本体と一体 (底部に内蔵) 単相AC200V~240V±10% (50~60Hz ±2Hz) 1.2kVA 水冷 3~4 0.2~0.4 60 56 1,500L/min以上 CE、TUVus ACコネクタ/ACケーブル (5m/10m/15m/20m) 不要 ガスポート用アダプタKF10

給気口Oリング (VGのみ) 、排気口ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書 (CD-ROM)


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メーカー (株) アルバック 真空ポンプ

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

32.5時間


企業レビュー

5.0

会社概要

三弘エマテック株式会社は、1975年に設立された、真空機器、装置等の販売を行う企業です。 「真空技術」を軸とした、ポンプや分析機器、理化学機械を取り扱います。取り扱うメーカーは200社以上あり、顧客のニーズに合わせた製...

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  • 本社所在地: 愛知県

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