ステージ

当社独自の調整技術により極めて高い平行度を実現したZ軸精密ステージです。 ■詳細 ・LJタイプは、上下板の材質が鉄のプレート (マグネットベースの脱着可) ...

3種類の品番

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• 手動ステージ

■特長 粗動360°の回転と微動 (マイクロメータヘッド又はファインピッチスクリューからの選択) が可能なすり合わせ式のθ軸 (回転) 粗微動ステージです。 粗動...

2種類の品番

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• 回転ステージ

ガイドにベアリングを採用し、送り機構にはウォームギアを使用したステッピングモータ駆動の回転ステージです。 ■詳細 計測、検査、評価装置用の位置決めに...

2種類の品番

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• 回転ステージ

テーブル面サイズ25×25mmのステッピングモータ駆動の小型自動ステージです。従来の製品より大幅に小型化され、省スペースが必要な生産設備や実験用途に最適で...

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• 自動ステージ

焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れた直動ステージです。

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アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、ネジ送りタイプの大型直動ステージです。 ■詳細 駆動はネジ送り方式 (2mmピッチ) で、調整ハンド...

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ジャッキスクリュー方式を使用した、薄型なステージ面の大型ステージです。 ■詳細 ・側面のハンドルを回すことで、ステージ上面が上下に移動します。ハンド...

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テーブル面が角型のユニークな微動回転ステージです。わずかな角度調整を行う場合や、マイクロ等の突起物がないため装置組込みにも適しています。

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• 回転ステージ

移動ガイドにベアリングを使用した高精度で安定性の高い自動回転ステージです。3軸ステージコントローラHSC-103と使用することで、従来のコントローラと比較...

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• 回転ステージ

本体にガイドを施し、精密研削ネジを使用した低価格な自動ステージです。

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• 自動ステージ

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度、高剛性ステンレスステージです。テーブル面サイズは、25x25mmです。...

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• 手動ステージ

アリ溝ガイド、ネジ送り調整方式で、装置組込用途に適したブロックステージです。 ■詳細 ・動作頻度が比較的少ない箇所や細かい調整用、完全固定箇所にも最...

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アリ溝ガイド、ネジ送り調整方式を使用した動作頻度が少なく微細な調整用途に適したXZ軸ステージです。 ■詳細 送りハンドルにより操作性に優れています。

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• 手動ステージ

ウォームギアで駆動させるため360°にわたり精密な調整が可能な回転ステージです。 ■詳細 ・ステージ中央の貫通穴は、透過穴用としてご利用いただけます。 ・...

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半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。 ■詳細 ・試料ごとに微小な回転角度を調整する自動のアライメン...

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