ステージ

■特長 粗動360°の回転と微動 (マイクロメータヘッド又はファインピッチスクリューからの選択) が可能なすり合わせ式のθ軸 (回転) 粗微動ステージです。 粗動...

2種類の品番

• ステージ

• 回転ステージ

■特長 テーブル面上の試料を、任意の角度に傾き調整やあおり調整をするための傾斜、回転ステージです。小型であり薄型であるため、制約のあるスペースや光学...

3種類の品番

• ステージ

• 回転ステージ

小型、薄型、高耐久性の3要素を兼ね備えたクロスローラ自動ステージです。 ■詳細 ・クロスローラガイド (スリップレス構造、TAMM40は除く) と特殊ナット形状...

2種類の品番

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• 自動ステージ

■特長 手動ステージ本体にピエゾアシスト機構を追加することで20nm以下の微動調整を行うことができる垂直面取付タイプのZ軸ステージです。高分解能での位置調...

2種類の品番

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• ピエゾステージ

■特長 当社の手動ステージの中で最薄10mmを実現した高剛性に優れた直動ステージです。従来品 (TSDシリーズ) と比較し、ステージ厚さ40％、質量35％を削減しま...

2種類の品番

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• 手動ステージ

焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れたXY軸直動ステージです。

2種類の品番

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• 手動ステージ

水平面方向のマイクロメータを操作を垂直移動に伝達するZ軸ステージです。

2種類の品番

• ステージ

• 手動ステージ

■特長 粗動360°の回転と微動 (マイクロメータヘッド又はファインピッチスクリューからの選択) が可能なすり合わせ式の透過用θ軸 (回転) 粗微動ステージです。...

2種類の品番

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• 回転ステージ

■特長 粗動360°の回転と微動 (マイクロメータヘッド又はファインピッチスクリューからの選択) が可能なすり合わせ式のθ軸 (回転) 粗微動ステージです。粗動は...

2種類の品番

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• 回転ステージ

精密ボールネジと精密クロスローラを使用した正確度の高い高精度X軸ステージです。3軸ステージコントローラHSC-103と使用することで、従来のコントローラと比...

2種類の品番

• ステージ

• 自動ステージ

スチール製のステージ本体と移動テーブルには、焼入れ処理が施され、直接ガイド加工が施されており、非常に耐久性に優れた直動ステージです。テーブル面サイ...

2種類の品番

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• 手動ステージ

アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。

2種類の品番

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• 手動ステージ

当社独自の調整技術により極めて高い平行度を実現したZ軸精密ステージです。 ■詳細 ・LJタイプは、上下板の材質が鉄のプレート (マグネットベースの脱着可) ...

3種類の品番

• ステージ

• 手動ステージ

■特長 上面のハンドルを回すことで360° (粗動) 回転させることが出来ます。ステージ本体に、アルミを採用し軽量化にも最適です。

2種類の品番

• ステージ

• 回転ステージ

アリ溝にウォームギアを採用した姿勢調整 (角度調整や補正) に使用するゴニオステージです。高真空グリース (YVAC2) を使用しているため真空対応としても最適...

2種類の品番

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• 回転ステージ