株式会社昭和真空

■周波数調整装置のグローバルスタンダード 本装置は水晶デバイスの周波数調整を行う装置です。省スペース、高精度、高生産性を実現した...

■成膜中の基板温度をリアルタイムに測定 ワイヤレス温度モニターは子機と親機で構成され、子機で測定した温度データを親機で受信しPCに...

• メーター・計測機器

• 温度計

バッチ間成膜再現性を追求した高性能モデル ■用途・応用例 光学多層膜フィルター (IRカットフィルター，バンドパスフィルターなど) 、各...

• 加工・工作機器

• 蒸着装置

バッチ間成膜再現性を追求した高性能モデル ■用途・応用例 光学多層膜フィルター (IRカットフィルター，バンドパスフィルターなど) 、各...

• 加工・工作機器

• 蒸着装置

■表面硬化膜形成用／少量生産機・実験機に最適 アーク放電型カソードを搭載したイオンプレーティング装置です。TiN、TiAlN硬化膜の成膜...

• 加工・工作機器

• 成膜装置

■小ロット・短いサイクルタイムで回せるスパッタリング装置 本装置は大型の製品にスパッタ・重合成膜が可能にもかかわらずハイサイクル...

• 加工・工作機器

• スパッタリング装置

■地上で宇宙の環境を再現 宇宙航空研究開発機構 (JAXA) 、名古屋大学をはじめ、企業・大学等研究開発機関に宇宙用途の真空装置を納入し...

• 収納用品・コンテナ

• 真空チャンバ

■複雑な形状の基板への成膜に最適 ALD (AtomicLayerDeposition) 法は従来のCVD,PVDに比べ「ピンホールフリー」、「段差被覆性」、「精密...

• 半導体製造

• ALD装置

■生産量UPを追及して1台で2台分の生産性を実現 従来のSapio1700から「排気工程の短縮」、「成膜工程の短縮」、「ベント工程の短縮」、「...

• 加工・工作機器

• 蒸着装置

■金属蒸着のスタンダードモデル φ4インチ及びφ6インチウエハに対して電極膜及び酸化膜の成膜が可能です。蒸着物のウエハへの入射角が垂...

• 加工・工作機器

• 蒸着装置

■Au/Snの2元同時蒸着が可能な蒸着装置 2元同時蒸着によりAu/Snの組成比管理及び膜厚管理が可能です。また、基板冷却機構及び間欠成膜機...

• 加工・工作機器

• 蒸着装置

■耐腐食性の高いY₂O₃厚膜を成膜し、シールド膜の形成が可能 耐プラズマ膜 (Y₂O₃膜) の厚膜成膜が可能です。イオンアシスト蒸着 (IAD：Io...

• 加工・工作機器

• 蒸着装置

■二種類の膜を両面に成膜可能なスパッタリング装置 本装置は水晶振動子のベース電極成膜を目的として開発したロードロック式スパッタリ...

• 加工・工作機器

• スパッタリング装置

■二種類の膜を両面に成膜可能なスパッタリング装置 本装置は水晶振動子のベース電極成膜を目的として開発したロードロック式通過型スパ...

• 加工・工作機器

• スパッタリング装置

■イオンビームによる基材の平坦化・平滑化 φ4インチもしくはφ6インチウエハに収束させたイオンビームを照射することで、基材 (ウエハ及...

■世界最高レベルのタクトタイムを実現 本装置は水晶デバイスの周波数調整を行う装置です。処理室と取出室を別にした3室インライン式の採...

インラインで水晶振動子の熱処理が可能な高真空アニール装置 ■用途・応用例 水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去。SMD...

• 加工・工作機器

• 真空炉

■安定かつ高精度な光学膜厚制御を実現 本システムは、真空蒸着装置との組み合わせにより、光学膜厚を高精度で制御します。更に、条件設...

■加飾膜などに適したスタンダードモデル 各種金属膜の成膜が可能です。基板台車を2台付属しており、成膜中に基板交換、蒸着材料交換が可...

• 加工・工作機器

• 蒸着装置

■大型基板量産用スパッタリング装置 本装置は大型基板へ金属膜、保護膜、透明導電膜等を成膜するインライン式スパッタリング装置です。 ...

• 加工・工作機器

• スパッタリング装置

■枚葉式RIE装置スタンダードモデル RIE室3室を搭載した枚葉式RIE (反応性イオンエッチング) 装置です。カセット室を付属しており、カセ...

• 加工・工作機器

• エッチング装置

バッチ間成膜再現性を追求した高性能モデル ■用途・応用例 光学多層膜フィルター (IRカットフィルター，バンドパスフィルターなど) 、各...

• 加工・工作機器

• 蒸着装置

■金属薄膜用蒸着装置のコンパクトモデル 抵抗加熱式蒸発源もしくは電子ビーム蒸発源による金属材料の成膜が可能です。研究開発・小ロッ...

• 加工・工作機器

• 蒸着装置

■二種類の膜を片面ずつ成膜可能なスパッタリング装置 基板反転機構を利用し両面成膜機構を採用した小型カルーセル式スパッタリング装置...

• 加工・工作機器

• スパッタリング装置

生産の効率化／省スペース ■用途・応用例 水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去。電極膜の安定化 ■特長 ・本装置は、...

• 加工・工作機器

• 真空炉

■安定かつ高精度な光学膜厚制御を実現 本システムは、真空蒸着装置との組み合わせにより、光学膜厚を高精度で制御します。更に、条件設...

■安定かつ高精度な光学膜厚制御を実現 本システムは、真空蒸着装置との組み合わせにより、光学膜厚を高精度で制御します。更に、条件設...

■高精度な膜厚監視、レート制御が可能 本システムは、当社が長年培ってきた水晶デバイス製造装置の技術を生かし、ネットワークアナライ...

• メーター・計測機器

• 膜厚計

■バッチ式RIE装置スタンダードモデル 処理能力の大きなバッチ式RIE (反応性イオンエッチング) 装置となっております。φ4インチウエハは2...

• 加工・工作機器

• エッチング装置

枚葉式の大型スパッタリング装置 ■用途・応用例 各種ウエハ電子部品へのメタル成膜 ■特長 ・φ8インチウエハ対応が可能です。 ・スパッ...

• 加工・工作機器

• スパッタリング装置