フジ・インバック株式会社

• 加工・工作機器

• 蒸着装置

■概要 大口径スロットルバルブ・ウイングシリーズは、大排気量プロセス用の排気系スロットリングバルブとして開発されました。大口径な...

• 弁

• スロットルバルブ

■アプリケーション ・ロードロックチャンバー ・トランスファーチャンバー ・半導体製造 ■特長 ツールまたは工場のサブフロアに直接設...

• ポンプ

• 真空ポンプ

■概要 このバルブは、装置の背圧をダンパー制御することで、工場のダクトによる圧力変動の影響を直接受けないようにすることのできる、...

• 弁

• スロットルバルブ

■特長 大気圧から測定でき堅牢長寿命な設計。コンパクトでリーゾナブルな真空計。 ・測定レンジ：1x10-2Pa～1x105Pa ・コンパクトで丈夫...

• メーター・計測機器

• 真空計

■アプリケーション ・コーティング産業 ・R＆D ・フリーズドライ ■特長 工業用途や研究開発用途だけでなく、粒子やオイル汚染が問題に...

• ポンプ

• 真空ポンプ

■概要 AVD/AVRスロットルバルブは、別置きのAPN30コントロールユニットと組み合わせて使用します。このためバルブとモーターアッセンブ...

• 弁

• スロットルバルブ

■アプリケーション ・表面観察 ・リークディテクタ― (バックポンプ) ・プラズマクリーニング ・真空コーティング ・クライオポンプ再生...

• ポンプ

• 真空ポンプ

■概要 AVHスロットルバルブは、高温加熱用のスロットルバルブです。圧力コントローラなどの電子回路は別置きにし、断熱材も選択するこ...

• 弁

• スロットルバルブ

■アプリケーション ・エッチング ・PECVD ・SACVD ・ALD ・太陽光発電 ・LED ■特長 A4H シリーズのドライポンプは、高いガススループッ...

• ポンプ

• 真空ポンプ

■特長 デジタルインターフェース専用全圧真空計 PC・PLCで直接真空計をコントロール可能 ・ピエゾゲージタイプ ・測定レンジ：100Pa～2x...

• メーター・計測機器

• 真空計

■概要 AVD/AVRスロットルバルブは、別置きのAPN30コントロールユニットと組み合わせて使用します。このためバルブとモーターアッセンブ...

• 弁

• スロットルバルブ

■特長 ・超高真空アプリケーション用 ・耐放射線仕様 ・測定圧力は8×10-2 Pa～105 Pa ・ベーキング温度：100℃ (TPR010/017) 、250℃ (TPR...

• メーター・計測機器

• 真空計

■概要 従来のルーツポンプの特別バージョンのガス循環冷却ルーツポンプです。気圧に対して250〜12,000 m3/hの排気速度を達成します。ガ...

• ポンプ

• 真空ポンプ

■特長 ・測定子接続数：2個 ・アナログ出力 (1対1) ・調整可能な測定サーキット

• メーター・計測機器

• 真空計

■アプリケーション ・ガラスコーティング ・半導体プロセス ・フラットパネルディスプレイ製造 　 (LED・OLED) ・ロードロック用途 ・...

• ポンプ

• 真空ポンプ

■概要 頑丈なOktaLine®ポンプは、145〜27,400 m3/hの範囲の排気速度を提供します。自然冷却のため、運用コストは水冷式ポンプよりも大幅...

• ポンプ

• 真空ポンプ

■特長 温度変化に対して非常に安定 耐腐食性に優れるアルミナセラミック製 ・測定レンジ：1.0x10-3Pa～1.1x105Pa ・ガス種に依存しない...

• メーター・計測機器

• 真空計

■アプリケーション ・エッチング ・PECVD ・SACVD ・ALD ・太陽光発電 ・LED ■特長 A4H シリーズのドライポンプは、高いガススループッ...

• ポンプ

• 真空ポンプ

■特長 ・極真空領域での測定が可能 IMR420 (B-Aゲージ) 、測定範囲：2x10 -9Pa～1Pa IMR430 (エクストラクターゲージ) 、測定範囲：2x10...

• メーター・計測機器

• 真空計

■特長 冷陰極電離真空計フィラメント切れなし 大気突入にも耐えられる逆マグネトロン型 交換可能なデュアルチャンバーにより、 クリーニ...

• メーター・計測機器

• 真空計

■特長 高精度大気圧付近測定/加圧測定 ・測定レンジ：50Pa～5.5x105Pa ・ガス種に依存しない測定 ・優れた耐腐食性 ・加圧測定可能

• メーター・計測機器

• 真空計

■アプリケーション ・エッチング ・インプラント ・PVD ■特長 A3P シリーズのドライポンプは、内部は腐食性ガスに強い構造となっており...

• ポンプ

• 真空ポンプ

■特長 ・外部制御用 ・コンピューターとのコミュニケーション

• メーター・計測機器

• 真空計

■概要 低・中真空用途のインテリジェントな高性能ルーツポンプです。インテリジェントでフレキシブル 革新的なHiLobe®シリーズのルーツ...

• ポンプ

• 真空ポンプ

■アプリケーション ・ALD ・エピタキシャル成長 ・EUV ・太陽光発電 (a-Si、µSi PECVD等) ・LED (MOCVD GaN等) ■特長 ADH シリーズの...

• ポンプ

• 真空ポンプ

■アプリケーション ・エッチング ・PECVD ・SACVD ・ALD ・太陽光発電 ・LED ■特長 A4HおよびA4Xシリーズがもつすべての技術的利点を備...

• ポンプ

• 真空ポンプ

■特長 超高真空対応モデル5.0×10-9 Paまでの測定が可能 ・測定レンジ：5x10-9Pa～1Pa ・コールドカソードタイプ (逆マグネトロン方式) ...

• メーター・計測機器

• 真空計

■概要 爆発の可能性のある環境でのプロセス、または爆発性ガスを排出するために、最高レベルの防爆要件を満たす指令2014/34/EUに準拠し...

• ポンプ

• 真空ポンプ

■概要 ルーツポンプ排気システムは、特に低真空と中真空の間の移行範囲で、高い排気速度を提供します。CombiLine™は、さまざまなバッキ...

• ポンプ

• 真空ポンプ