株式会社アルバック

MSシリーズはスクリュー型ドライ真空ポンプに分類される真空ポンプです。従来のLSシリーズを基に、耐食性と粉体排出性を向上させた耐プ...

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■汎用型のメカニカルブースターポンプ PMBシリーズVer.Dは汎用型のメカニカルブースターポンプです。オプションで表面処理や大気圧駆動...

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LSシリーズはスクリュー型ドライ真空ポンプに分類される真空ポンプです。従来、排気速度を大きくする為には多くの電力を消費していまし...

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ポンプ本体を高温領域で均熱化することで、CVD、エッチング等で発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能なポンプとなっ...

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固定された渦巻き型の壁 (固定スクロール) に対面した渦巻き型の壁 (従動スクロール) が偏芯運動することによって真空排気をする真空ポ...

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大型のPMBシリーズは、ベルト駆動型による低速回転のメカニカルブースタポンプです。堅牢な揺動ピストン型油回転真空ポンプと組み合わせ...

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磁気軸受を採用したコントローラ別置き型のターボ分子ポンプです。300～4,000L/sの排気速度を持った機種をラインアップ致しました。コン...

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YTPシリーズ Ver.Bは、セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した高真空排気ユニットです。大気圧から高真空までの排気が可能です。...

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ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格 (CE,cTUVus) を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。排気室内には油を使用せず...

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磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しまし...

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セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。優れた高背圧特性...

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シングルラップタイプ/入力端子台付き (コードなし) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・高湿ガスに強い、真空ポンプ。 ・エアー...

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PRCシリーズは特にクリーン度を要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたメカニカルブースタポンプです。...

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ECO-SHOCK (エコショック) は、現在ご使用のドライ真空ポンプに取り付けることによって、ドライポンプの大幅な省エネを可能にする画期的...

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セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した、デスクトップ型の高真空排気ユニットです。デスクトップでの使用環境に配慮し、動作時...

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■特長 ・各種真空装置に用いられる真空ポンプに使用可能なフィルターです。 ・真空側、排気側いずれにも設置可能です。 ・装置から排出...

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ポンプ本体を高温領域で均熱化することで、CVD、エッチング等で発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能なポンプとなっ...

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ダブルラップタイプ/サーマルプロテクター内蔵/入力端子台付き (コードなし) /スイッチ付き ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・...

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PKSシリーズは､揺動ピストン型のベルト駆動式油回転真空ポンプです｡堅牢で排気特性の安定した油回転真空ポンプです｡ 金属･自動車産業を...

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ポンプ本体を低温領域で均熱化することで、PVDプロセスに加え、特にスループットを上げるために排気時間短縮が重要な仕込み取出し室の排...

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スパッタされた活性チタンによるゲッター作用を利用した、超高真空領域での排気特性を強化したポンプです。新型素子と磁場の最適化を図...

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ドライポンプ専用サイレンサです。排気音を低減出来ます。 ■特長 ・優れた消音効果。 ・ポンプ排気口にクランプで接続可能です。

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■特長 ・各種真空装置に用いられる真空ポンプに使用可能なフィルターです。 ・真空側、排気側いずれにも設置可能です。 ・装置から排出...

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スタンダードタイプ/1段排気方式/サーマルプロテクター内蔵 ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・接ガス部に油を使用していないド...

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ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HR シリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。 ■特長...

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シングルラップタイプ/サーマルプロテクター内蔵/入力端子台付き (コードなし) /スイッチ付き ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ...

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加圧専用タイプ/1段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/電源コード (先バラ) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・接ガス部に油を...

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ダブルラップタイプ/サーマルプロテクター内蔵 (単相用) /入力端子台付き (コードなし) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・ドラ...

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VS650B/VS750Bは回転翼型 (1段式) の油回転真空ポンプです。空冷/水冷の選択が出来る他、メカニカルブースタポンプの組み合わせで更に大...

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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/電源コード (先バラ) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・接ガス部に...

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