株式会社アルバック

固定された渦巻き型の壁 (固定スクロール) に対面した渦巻き型の壁 (従動スクロール) が偏芯運動することによって真空排気をする真空ポ...

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• 真空ポンプ

MSシリーズはスクリュー型ドライ真空ポンプに分類される真空ポンプです。従来のLSシリーズを基に、耐食性と粉体排出性を向上させた耐プ...

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ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格 (CE,cTUVus) を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。排気室内には油を使用せず...

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• 真空ポンプ

ポンプ本体を高温領域で均熱化することで、CVD、エッチング等で発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能なポンプとなっ...

• ポンプ

• 真空ポンプ

■特長 ・各種真空装置に用いられる真空ポンプに使用可能なフィルターです。 ・真空側、排気側いずれにも設置可能です。 ・装置から排出...

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ECO-SHOCK (エコショック) は、現在ご使用のドライ真空ポンプに取り付けることによって、ドライポンプの大幅な省エネを可能にする画期的...

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ドライポンプ専用サイレンサです。排気音を低減出来ます。 ■特長 ・優れた消音効果。 ・ポンプ排気口にクランプで接続可能です。

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• 真空ポンプ

油回転真空ポンプから排気される油煙を回収するトラップです。室内の設備・雰囲気を汚すことなく清浄な作業環境が得られます。 特長 ■...

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LSシリーズはスクリュー型ドライ真空ポンプに分類される真空ポンプです。従来、排気速度を大きくする為には多くの電力を消費していまし...

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• 真空ポンプ

シングルラップタイプ/サーマルプロテクター内蔵/入力端子台付き (コードなし) /スイッチ付き ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ...

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シングルラップタイプ/入力端子台付き (コードなし) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・高湿ガスに強い、真空ポンプ。 ・エアー...

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• 真空ポンプ

■特長 ・各種真空装置に用いられる真空ポンプに使用可能なフィルターです。 ・真空側、排気側いずれにも設置可能です。 ・装置から排出...

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ポンプ本体を低温領域で均熱化することで、PVDプロセスに加え、特にスループットを上げるために排気時間短縮が重要な仕込み取出し室の排...

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セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。優れた高背圧特性...

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ポンプ本体を高温領域で均熱化することで、CVD、エッチング等で発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能なポンプとなっ...

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ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HR シリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。 ■特長...

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■特長 ・ドライで油回転真空ポンプと同等の到達性能。 ・大気圧から到達まで全圧力帯で運転可能。 ・水蒸気に強い。 ・冷却水が不要。 ...

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磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しまし...

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ULVACのULK型油拡散ポンプは、小型で臨界背圧を大きく設計している高真空排気ポンプです。研究用途から製造ラインまで幅広く活用されて...

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ダブルラップタイプ/サーマルプロテクター内蔵/入力端子台付き (コードなし) /スイッチ付き ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・...

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油回転真空ポンプから排気される油煙を回収するトラップです。室内の設備・雰囲気を汚すことなく清浄な作業環境が得られます。 特長 ■...

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スパッタされた活性チタンによるゲッター作用を利用した、超高真空領域での排気特性を強化したポンプです。新型素子と磁場の最適化を図...

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ULVACのPFL型油拡散ポンプは､長年の研究･豊富な製作経験を活かして､設計･製作されています｡ 22B～52B までの4機種をﾗｲﾝｱｯﾌﾟしています｡ ...

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加圧専用タイプ/1段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/電源コード (先バラ) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・接ガス部に油を...

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• 真空ポンプ

スタンダードタイプ/1段排気方式/サーマルプロテクター内蔵 ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・接ガス部に油を使用していないド...

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加熱して蒸気となった油をジェット部から超音速で噴射することによって真空排気する真空ポンプです。冷却水を必要としない空冷式です。 ...

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• 真空ポンプ

架台内にメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、小型の高真空排気装置で...

• 浄化設備・装置

• 排気装置

スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源 (スイッチ付き) コード ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格...

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• 真空ポンプ

スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード/スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実...

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• 真空ポンプ

磁気軸受を採用したコントローラ別置き型のターボ分子ポンプです。300～4,000L/sの排気速度を持った機種をラインアップ致しました。コン...

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