塗布・現像装置 SPRシリーズ
タツモ株式会社

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この製品について

SPR3000シリーズは、特に高速処理に特化したタツモフラッグシップコータ/デベロッパです。装置構成に柔軟性と拡張性を持たせ、ユニット単位で必要な数だけ選択、構成できるクラスタシステムを採用し、オーバーベーク、タクト管理機能も搭載しています。

■製品特徵・プラットホーム
SPR3000シリーズは、カセットtoカセットで200mm~300mmウェハに対応可能な全自動処理装置です。
さらに、プロセスユニットを自由にレイアウトできる設計のため、お客様のプロセスやスペースにも柔軟に対応できます。
・プロセスユニット
コータ
塗布プロセスに対して、スピンコート部/ベークプレート部の組み合わせによる汎用コータの構成から、回転カップ部/スピン レスコート部等を組み合わせた特殊コータの構成まで対応可能で、 数μm~100μmの膜厚形成が可能です。
デベロッパ
現像プロセスに対して、高速現像ユニットを準備しています。
厚膜レジストの長時間現像を高速で処理します。 (1/2~1/3) 
オーバーベーク機構搭載 最大16個設置可能
クールプレート
高粘度塗布対応
厚膜塗布対応
高温ベーク搭載可能 (オプション) 
・操作性
GUI画面による優れた操作性を実現。 複雑なレシピ編集も簡単に行えます。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
塗布・現像装置 SPRシリーズ

取扱企業
タツモ株式会社

カテゴリ

加工・工作機器

エッチング装置

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塗布装置

半導体製造

レジスト塗布装置

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塗布・現像装置 SPRシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	適用ワーク	カップ数	ベーク数	クールプレート	高粘度	高温ベーク
	SPR3000	要見積もり	200mm~300mmウェーハ	塗布+現像=最大4個	最大16個 (250°C) 焼付き防止機構搭載	搭載可能	ポンプ塗布可能	オプションで最大450°C