塗布・現像装置 SPRシリーズ
タツモ株式会社
この製品について
■製品特徵
・プラットホーム SPR3000シリーズは、カセットtoカセットで200mm~300mmウェハに対応可能な全自動処理装置です。 さらに、プロセスユニットを自由にレイアウトできる設計のため、お客様のプロセスやスペースにも柔軟に対応できます。 ・プロセスユニット コータ 塗布プロセスに対して、スピンコート部/ベークプレート部の組み合わせによる汎用コータの構成から、回転カップ部/スピン レスコート部等を組み合わせた特殊コータの構成まで対応可能で、 数μm~100μmの膜厚形成が可能です。 デベロッパ 現像プロセスに対して、高速現像ユニットを準備しています。 厚膜レジストの長時間現像を高速で処理します。 (1/2~1/3) オーバーベーク機構搭載 最大16個設置可能 クールプレート 高粘度塗布対応 厚膜塗布対応 高温ベーク搭載可能 (オプション) ・操作性 GUI画面による優れた操作性を実現。 複雑なレシピ編集も簡単に行えます。-
シリーズ
塗布・現像装置 SPRシリーズ
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取扱企業
タツモ株式会社
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カテゴリ
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塗布・現像装置 SPRシリーズ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 適用ワーク | カップ数 | ベーク数 | クールプレート | 高粘度 | 高温ベーク |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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SPR3000 |
要見積もり | 200mm~300mmウェーハ | 塗布+現像=最大4個 | 最大16個 (250°C) 焼付き防止機構搭載 | 搭載可能 | ポンプ塗布可能 | オプションで最大450°C |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
