DL1/DP1シリーズ自動ポリッシング装置DP1
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この製品について

自動ポリッシング装置は主としてサファイヤ、炭化シリコン及び窒化ガリウム (12″/300mmΦまで) 等の硬い材料をエピタキシャル品質の表面に加工するための高速研磨システムです。ドライブヘッド技術を使って、キャリアヘッドに200kgまで荷重をかけることができ、プロセス時間を大幅に短縮できます。

■プロセス時間の短縮サファイヤ、炭化シリコン (SiC) 及び窒化ガリウム (GaN) 等の材料は硬く、不活性な特性により研磨が難しいとされています。この問題を解決するのがDP1です。DP1は200kgまでのバックサイド圧をかけることができ、プロセス時間を従来方法の70-400%までも大幅に短縮します。

下方圧に加えて、キャリアヘッドも回転方向に駆動するので、一貫性のある均一な研磨が行われます。下方及び回転方向の圧の組み合わせが最終的に材料を短時間でエピタキシャル品質まで研磨する結果をもたらします。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
DL1/DP1シリーズ自動ポリッシング装置DP1

取扱企業
ハイソル株式会社

カテゴリ

半導体製造

半導体製造装置

加工・工作機器

研磨機

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自動研磨機

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DL1/DP1シリーズ自動ポリッシング装置DP1 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	電源	ヒューズ定格	プレート速度	プレート径	プレート回転	キャリア速度	キャリアロード	高さ	奥行	幅	梱包付き重量	マシン重量	研磨プレート重量	最大スラリー流速	最小スラリー流速
	DP1	要見積もり	240V, 13A 単相	10A	160rpm	560mm (22″)	時計周り及び反時計回りのセッティング	10-125rpm	キャリアによる	2,020mm	1,050mm	725mm	550kg	420kg	32kg	500ml/分	20ml/分