DL1/DP1シリーズ 自動ポリッシング装置DP1
ハイソル株式会社
この製品について
■プロセス時間の短縮
サファイヤ、炭化シリコン (SiC) 及び窒化ガリウム (GaN) 等の材料は硬く、不活性な特性により研磨が難しいとされています。この問題を解決するのがDP1です。DP1は200kgまでのバックサイド圧をかけることができ、プロセス時間を従来方法の70-400%までも大幅に短縮します。 下方圧に加えて、キャリアヘッドも回転方向に駆動するので、一貫性のある均一な研磨が行われます。下方及び回転方向の圧の組み合わせが最終的に材料を短時間でエピタキシャル品質まで研磨する結果をもたらします。-
シリーズ
DL1/DP1シリーズ 自動ポリッシング装置DP1
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取扱企業
ハイソル株式会社
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DL1/DP1シリーズ 自動ポリッシング装置DP1 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 電源 | ヒューズ定格 | プレート速度 | プレート径 | プレート回転 | キャリア速度 | キャリアロード | 高さ | 奥行 | 幅 | 梱包付き重量 | マシン重量 | 研磨プレート重量 | 最大スラリー流速 | 最小スラリー流速 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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DP1 |
要見積もり | 240V, 13A 単相 | 10A | 160rpm | 560mm (22″) | 時計周り及び反時計回りのセッティング | 10-125rpm | キャリアによる | 2,020mm | 1,050mm | 725mm | 550kg | 420kg | 32kg | 500ml/分 | 20ml/分 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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