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COBRA SEMICON-COBRA BC 0101 G 50Hz
COBRA SEMICON-COBRA BC 0601 G 50Hz
COBRA SEMICON-COBRA DS 0080 G 50Hz
COBRA SEMICON-COBRA DS 0600 E 50Hz
COBRA SEMICON-COBRA DS 0700 G 50Hz
COBRA SEMICON-COBRA DS 1200 A 50Hz
COBRA SEMICON-COBRA DS 2141 A 50Hz
COBRA SEMICON-日本ブッシュ株式会社

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この製品について

ドライスクリュー真空ポンプ COBRA Semiconドライスクリュー真空ポンプは、ソーラーモジュール、フラットパネル、半導体の製造、また工業用の各種コーティング用途など、要求が極めて厳しいプロセスに理想的な選択肢です。COBRA Semiconの動作原理は、最先端のスクリュー技術に基づいています。特許取得のセルフバランシングスクリューは、効率において新たな基準を打ち立てるものとなりました。COBRA Semiconは、高い排気能力と優れたベーパーおよび粉体への耐性を兼ね備えているため、 粉体を含むガスの吸引も問題ありません。 ドライかつ非接触式の動作原理が、低メンテナンス、低運用コスト、そして長寿命化を実現しています。COBRA Semiconはコンパクトサイズのため、限られたスペースにも簡単に設置できます。 動作原理 COBRA Semiconドライスクリュー真空ポンプの内部では、2本のスクリュー型のローターが互いに逆方向に回転します。吸引されたガスがシリンダーとスクリューチャンバーの間で捕捉され、 圧縮されながら排気口に運ばれます。このプロセス中に、スクリューローターが互いに接触したり、シリンダーと接触したりすることはありません。 COBRA BCシリーズのメリット COBRA BC真空ポンプは、ロードロックおよびトランスファーチャンバーの用途に最適です。その他の用途としては、メトロロジー、リソグラフィー、PVD、ラピッドサーマルプロセス、シリコンエッチングなどが挙げられます。特許取得のセルフバランシングスクリュー設計により、低振動と静音運転を実現しています。COBRA BC真空ポンプのスクリューは、一体の鋳物のため継ぎ目がありません。従ってプロセス流体や粒子が隙間に侵入することがありません。このため、腐食や堆積が防止されます。 COBRA BC真空ポンプの不等ピッチスクリューのツインローターは、ベル型のカンチレバー構造のため、モーター側のみで固定されています。独自の「フライングベアリング」設計のため、吸気口側のベアリングは不要です。そのため、吸引されたガスはベアリングと接触しません。これにより、クリーンな真空生成が確保され、吸引されたガスを完全に回収することができます。COBRA BCシリーズの真空ポンプには、効率的な直接水冷方式が採用されているため、 真空ポンプ全体の温度が均一に保たれ、 プロセス全体を通じた熱的安定性も保たれます。 完全にオープンな通信プロトコル (Modbus TCP-IP) で、すべての機能を制御できます。これには、アイドリングモードや可変速ドライブも含まれます。この通信プロトコルにより、一般的なインターフェースを使用して特定のネットワークにも簡単に適応できます。 直結式キャンドモーターを採用しているため、COBRA BCシリーズは非常にコンパクトです。設置場所を選ばない設計のため、既存のシステムにも簡単かつ迅速に後付けすることができます。 半導体のライト~ミディアムプロセス向けに理想的なソリューション ・高度なスクリュー設計 ・ドライかつ非接触式の動作原理 ・独自のフライングベアリング設計 ・カンチレバー構造 ・設置場所を選ばないコンパクト設計 ・直接水冷方式 ・完全にオープンな通信プロトコル

  • シリーズ

    COBRA SEMICON

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COBRA SEMICON 品番46件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜)
COBRA SEMICON-品番-COBRA BC 0101 G 50Hz

COBRA BC 0101 G 50Hz

要見積もり

0.01 hPa

0.01hPa(mbar)

1.0l/min

1.1kW

1.8kW

100m³/h

115kg

3600min⁻¹

520x300x340mm

58dB(A)

DN40KF

DN50KF

- - - - - -
COBRA SEMICON-品番-COBRA BC 0101 G 60Hz

COBRA BC 0101 G 60Hz

要見積もり

0.01 hPa

0.01hPa(mbar)

1.0l/min

1.1kW

1.8kW

100m³/h

115kg

3600min⁻¹

520x300x340mm

58dB(A)

DN40KF

DN50KF

- - - - - -
COBRA SEMICON-品番-COBRA BC 0601 G 50Hz

COBRA BC 0601 G 50Hz

要見積もり

0.003 hPa

0.003hPa(mbar)

最小3.0–4.0l/min

1.7kW

-

550m³/h

315kg

-

905x354x660mm

62dB(A)

DN40ISO-KF

DN63ISO-K

0–70l/min

1.5kW

1.5kW

1.7kW

3000min⁻¹

3000min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA BC 0601 G 60Hz

COBRA BC 0601 G 60Hz

要見積もり

0.003 hPa

0.003hPa(mbar)

最小3.0–4.0l/min

1.7kW

-

640m³/h

315kg

-

905x354x660mm

62dB(A)

DN40ISO-KF

DN63ISO-K

0–70l/min

1.5kW

1.8kW

1.7kW

3000min⁻¹

3600min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA BC 1001 G 50Hz

COBRA BC 1001 G 50Hz

要見積もり

0.003 hPa

0.003hPa(mbar)

最小3.0–4.0l/min

1.7kW

-

870m³/h

310kg

-

1054x425x615mm

62dB(A)

DN40ISO-KF

DN100ISO-K

0–70l/min

1.5kW

2.9kW

1.7kW

3000min⁻¹

5400min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA BC 1001 G 60Hz

COBRA BC 1001 G 60Hz

要見積もり

0.003 hPa

0.003hPa(mbar)

最小3.0–4.0l/min

1.2kW

-

870m³/h

310kg

-

1054x425x615mm

62dB(A)

DN40ISO-KF

DN100ISO-K

0–70l/min

1.5kW

2.9kW

1.2kW

3000min⁻¹

5400min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA BC 1200 A 50Hz

COBRA BC 1200 A 50Hz

要見積もり

0.003 hPa

0.003hPa(mbar)

最小4.0–5.0l/min

1.9kW

-

1200m³/h

360kg

-

1054x425x615mm

62dB(A)

DN40ISO-KF

DN160ISO-K

0–70l/min

1.5kW

4.0kW

1.9kW

3000min⁻¹

5400min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA BC 1200 A 60Hz

COBRA BC 1200 A 60Hz

要見積もり

0.003 hPa

0.003hPa(mbar)

最小4.0–5.0l/min

1.3kW

-

1200m³/h

360kg

-

1054x425x615mm

62dB(A)

DN40ISO-KF

DN160ISO-K

0–70l/min

1.5kW

4.0kW

1.3kW

3000min⁻¹

5400min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 0080 G 50Hz

COBRA DS 0080 G 50Hz

要見積もり

0.03 hPa

0.03hPa(mbar)

4.0l/min

2.6kW

4.0kW

70m³/h

276kg

3000min⁻¹

865x385x667mm

<62dB(A)

DN40

DN40

0–75l/min

- - - - -
COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 0080 G 60Hz

COBRA DS 0080 G 60Hz

要見積もり

0.03 hPa

0.03hPa(mbar)

4.0l/min

3.2kW

4.4kW

85m³/h

276kg

3600min⁻¹

865x385x667mm

<62dB(A)

DN40

DN40

0–75l/min

- - - - -
COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 0160 G 50Hz

COBRA DS 0160 G 50Hz

要見積もり

0.03 hPa

0.03hPa(mbar)

4.0l/min

4.3kW

5.5kW

140m³/h

338kg

3000min⁻¹

975x425x697mm

<68dB(A)

DN40

DN50

0–75l/min

- - - - -
COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 0160 G 60Hz

COBRA DS 0160 G 60Hz

要見積もり

0.03 hPa

0.03hPa(mbar)

4.0l/min

5.2kW

6.6kW

160m³/h

338kg

3600min⁻¹

975x425x697mm

<68dB(A)

DN40

DN50

0–75l/min

- - - - -
COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 0600 E 50Hz

COBRA DS 0600 E 50Hz

要見積もり

0.01 hPa

0.01hPa(mbar)

6l/min

9kW

15kW

600m³/h

745kg

3600min⁻¹

1654x600x747mm

<70dB(A)

DN63

DN100

0–200l/min

- - - - -
COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 0600 E 60Hz

COBRA DS 0600 E 60Hz

要見積もり

0.01 hPa

0.01hPa(mbar)

6l/min

9kW

15kW

600m³/h

745kg

3600min⁻¹

1654x600x747mm

<70dB(A)

DN63

DN100

0–200l/min

- - - - -
COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 0700 G 50Hz

COBRA DS 0700 G 50Hz

要見積もり

0.003 hPa

0.003hPa(mbar)

5.0l/min

3.0kW

-

500m³/h

445kg

-

865x385x917mm

<62dB(A)

DN40

DN63

0–75l/min

4.0kW

4.0kW

3.0kW

3000min⁻¹

3000min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 0700 G 60Hz

COBRA DS 0700 G 60Hz

要見積もり

0.003 hPa

0.003hPa(mbar)

5.0l/min

3.6kW

-

610m³/h

445kg

-

865x385x917mm

<62dB(A)

DN40

DN63

0–75l/min

4.4kW

4.4kW

3.6kW

3600min⁻¹

3600min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 1000 G 50Hz

COBRA DS 1000 G 50Hz

要見積もり

0.003 hPa

0.003hPa(mbar)

5.0l/min

3.3kW

-

775m³/h

576kg

-

1034x425x1017mm

<62dB(A)

DN40

DN100

0–75l/min

4.0kW

4.0kW

3.3kW

3000min⁻¹

3000min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 1000 G 60Hz

COBRA DS 1000 G 60Hz

要見積もり

0.003 hPa

0.003hPa(mbar)

5.0l/min

4.0kW

-

960m³/h

576kg

-

1034x425x1017mm

<62dB(A)

DN40

DN100

0–75l/min

4.4kW

4.4kW

4.0kW

3600min⁻¹

3600min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 2000 G 50Hz

COBRA DS 2000 G 50Hz

要見積もり

0.003 hPa

0.003hPa(mbar)

5.0l/min

5.6kW

-

1365m³/h

668kg

-

1063x465x1069mm

<68dB(A)

DN40

DN160

0–75l/min

5.5kW

5.5kW

5.6kW

3000min⁻¹

3000min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 2000 G 60Hz

COBRA DS 2000 G 60Hz

要見積もり

0.003 hPa

0.003hPa(mbar)

5.0l/min

6.8kW

-

1640m³/h

668kg

-

1063x465x1069mm

<68dB(A)

DN40

DN160

0–75l/min

6.6kW

6.6kW

6.8kW

3600min⁻¹

3600min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 1200 A 50Hz

COBRA DS 1200 A 50Hz

要見積もり

0.003 hPa

0.003hPa(mbar)

7.0–8.0l/min

- -

1200m³/h

500kg

-

1073x426x740mm

<62dB(A)

DN40ISO-KF

DN160ISO-K

0–75l/min

4.0kW

4.0kW

-

3000min⁻¹

5400min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 1200 A 60Hz

COBRA DS 1200 A 60Hz

要見積もり

0.003 hPa

0.003hPa(mbar)

7.0–8.0l/min

- -

1200m³/h

500kg

-

1073x426x740mm

<62dB(A)

DN40ISO-KF

DN160ISO-K

0–75l/min

4.4kW

4.0kW

-

3600min⁻¹

5400min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 1800 A 50Hz

COBRA DS 1800 A 50Hz

要見積もり

0.003 hPa

0.003hPa(mbar)

7.0–8.0l/min

- -

1700m³/h

500kg

-

1073x426x750mm

<62dB(A)

DN40ISO-KF

DN160ISO-K

0–75l/min

4.4kW

4.0kW

-

5100min⁻¹

5400min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 1800 A 60Hz

COBRA DS 1800 A 60Hz

要見積もり

0.003 hPa

0.003hPa(mbar)

7.0–8.0l/min

- -

1700m³/h

500kg

-

1073x426x750mm

<62dB(A)

DN40ISO-KF

DN160ISO-K

0–75l/min

4.4kW

4.0kW

-

5100min⁻¹

5400min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 1800 A H 50Hz

COBRA DS 1800 A H 50Hz

要見積もり

0.003 hPa

0.003hPa(mbar)

最小7.0–8.0l/min

- -

1700m³/h

520kg

-

1124x426x750mm

<62dB(A)

DN40ISO-KF

DN160ISO-K

0–75l/min

6.6kW

4.0kW

-

3600min⁻¹

5400min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 1800 A H 60Hz

COBRA DS 1800 A H 60Hz

要見積もり

0.003 hPa

0.003hPa(mbar)

最小7.0–8.0l/min

- -

1700m³/h

520kg

-

1124x426x750mm

<62dB(A)

DN40ISO-KF

DN160ISO-K

0–75l/min

6.6kW

4.0kW

-

3600min⁻¹

5400min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 2141 A 50Hz

COBRA DS 2141 A 50Hz

要見積もり

0.003 hPa

0.003hPa(mbar)

最小7.0–8.0l/min

5.0kW

-

1875m³/h

600kg

-

1133x425x954mm

<75dB(A)

DN50

DN160

0–75l/min

7.9kW

4.0kW

-

4320min⁻¹

5400min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 2141 A 60Hz

COBRA DS 2141 A 60Hz

要見積もり

0.003 hPa

0.003hPa(mbar)

最小7.0–8.0l/min

5.0kW

-

1875m³/h

600kg

-

1133x425x954mm

<75dB(A)

DN50

DN160

0–75l/min

7.9kW

4.0kW

-

4320min⁻¹

5400min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 2610 E 50Hz

COBRA DS 2610 E 50Hz

要見積もり

0.001 hPa

0.001hPa(mbar)

10l/min

10kW

-

1830m³/h

1300kg

-

1420x722x1452mm

<75dB(A)

DN63

DN160

0–200l/min

15kW

5.5kW

10kW

3000min⁻¹

3000min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 2610 E 60Hz

COBRA DS 2610 E 60Hz

要見積もり

0.001 hPa

0.001hPa(mbar)

10l/min

11kW

-

2130m³/h

1300kg

-

1420x722x1452mm

<75dB(A)

DN63

DN160

0–200l/min

15kW

6.6kW

11kW

3600min⁻¹

3600min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 3010 F 50Hz

COBRA DS 3010 F 50Hz

要見積もり

0.001 hPa

0.001hPa(mbar)

10l/min

11.8kW

-

3200m³/h

1380kg

-

1420x722x1452mm

<75dB(A)

DN63

DN160

0–200l/min

15kW

15kW

11.8kW

3600min⁻¹

5400min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 3010 F 60Hz

COBRA DS 3010 F 60Hz

要見積もり

0.001 hPa

0.001hPa(mbar)

10l/min

9.9kW

-

3200m³/h

1380kg

-

1420x722x1452mm

<75dB(A)

DN63

DN160

0–200l/min

15kW

15kW

9.9kW

3600min⁻¹

5400min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 3161 B 50Hz

COBRA DS 3161 B 50Hz

要見積もり

0.001 hPa

0.001hPa(mbar)

10l/min

11.8kW

-

3200m³/h

1360kg

-

1316x633x1249mm

<75dB(A)

DN63

DN160

0–200l/min

15kW

15kW

11.8kW

3600min⁻¹

5400min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 3161 B 60Hz

COBRA DS 3161 B 60Hz

要見積もり

0.001 hPa

0.001hPa(mbar)

10l/min

9.9kW

-

3200m³/h

1360kg

-

1316x633x1249mm

<75dB(A)

DN63

DN160

0–200l/min

15kW

15kW

9.9kW

3600min⁻¹

5400min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 3181 B 50Hz

COBRA DS 3181 B 50Hz

要見積もり

0.001 hPa

0.001hPa(mbar)

最小10l/min

12.4kW

-

3500m³/h

1390kg

-

1654x722x1452mm

<75dB(A)

DN63

DN160

0–200l/min

18.5kW

15.0kW

10.3kW

4320min⁻¹

5400min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 3181 B 60Hz

COBRA DS 3181 B 60Hz

要見積もり

0.001 hPa

0.001hPa(mbar)

最小10l/min

12.4kW

-

3500m³/h

1390kg

-

1654x722x1452mm

<75dB(A)

DN63

DN160

0–200l/min

18.5kW

15.0kW

10.3kW

4320min⁻¹

5400min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 5161 A 50Hz

COBRA DS 5161 A 50Hz

要見積もり

0.001 hPa

0.001hPa(mbar)

12l/min

12.5kW

-

4200m³/h

1440kg

-

1550x723x1452mm

<75dB(A)

DN63

DN200

0–200l/min

15kW

15kW

12.5kW

3600min⁻¹

3600min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 5161 A 60Hz

COBRA DS 5161 A 60Hz

要見積もり

0.001 hPa

0.001hPa(mbar)

12l/min

10kW

-

4200m³/h

1440kg

-

1550x723x1452mm

<75dB(A)

DN63

DN200

0–200l/min

15kW

15kW

10kW

3600min⁻¹

3600min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 8161 F 50Hz

COBRA DS 8161 F 50Hz

要見積もり

0.001 hPa

0.001hPa(mbar)

13l/min

13kW

-

6000m³/h

1350kg

-

1441x627x1100mm

<75dB(A)

DN63

DN200

0–200l/min

15kW

20kW

13kW

3600min⁻¹

5400min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 8161 F 60Hz

COBRA DS 8161 F 60Hz

要見積もり

0.001 hPa

0.001hPa(mbar)

13l/min

11kW

-

6000m³/h

1350kg

-

1441x627x1100mm

<75dB(A)

DN63

DN200

0–200l/min

15kW

20kW

11kW

3600min⁻¹

5400min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 9161 B 50Hz

COBRA DS 9161 B 50Hz

要見積もり

0.001 hPa

0.001hPa(mbar)

13l/min

13kW

-

6160m³/h

1800kg

-

1567x810x1615mm

<75dB(A)

DN63

DN200

0–200l/min

15kW

20kW

13kW

3600min⁻¹

3600min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 9161 B 60Hz

COBRA DS 9161 B 60Hz

要見積もり

0.001 hPa

0.001hPa(mbar)

13l/min

11kW

-

6160m³/h

1800kg

-

1567x810x1615mm

<75dB(A)

DN63

DN200

0–200l/min

15kW

20kW

11kW

3600min⁻¹

3600min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 8162 F 50Hz

COBRA DS 8162 F 50Hz

要見積もり

0.001 hPa

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22l/min

21kW

-

7000m³/h

2500kg

-

1604x1470x1860mm

<78dB(A)

2·DN63

DN200

2·(0–200)l/min

2·15kW

20kW

19kW

3600min⁻¹

3600min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 8162 F 60Hz

COBRA DS 8162 F 60Hz

要見積もり

0.001 hPa

0.001hPa(mbar)

22l/min

21kW

-

7000m³/h

2500kg

-

1604x1470x1860mm

<78dB(A)

2·DN63

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2·15kW

20kW

19kW

3600min⁻¹

3600min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 8163 B 50Hz

COBRA DS 8163 B 50Hz

要見積もり

0.001 hPa

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31l/min

30kW

-

7385m³/h

3320kg

-

1604x2114x1860mm

<78dB(A)

3·DN63

DN200

3·(0–200)l/min

3·15kW

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3600min⁻¹

3600min⁻¹

COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 8163 B 60Hz

COBRA DS 8163 B 60Hz

要見積もり

0.001 hPa

0.001hPa(mbar)

31l/min

30kW

-

7385m³/h

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-

1604x2114x1860mm

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3·DN63

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3·15kW

20kW

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3600min⁻¹

3600min⁻¹

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日本ブッシュ株式会社は、ブッシュグループの真空ポンプや関連機器の輸入販売を行う産業用機械メーカーです。 2004年に神奈川県平塚市に本社を設立し、システム・販売・物流機能が統合されました。 主な事業内容は食品包装用に特...

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