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蒸着装置の製品92点中、注目ランキング上位6点
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次の条件に該当する商品を3件表示しています
商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 操作方法 | 排気系 / 到達压力 | 排気系 / 排気時間 | 排気系 / 主ポンプ | 成膜系 / 処理量 | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
AAMH-C1075SB |
要見積もり |
全自動 |
5 × 10-⁵Pa以下 |
×10-⁴Pa台まで15分以内 |
クライオポンプ |
60基板 × 72枚 |
|
![]() |
AAMH-C1080SB |
要見積もり |
全自動 |
6 × 10-⁵Pa以下 |
×10-⁴Pa台まで15分以内 |
クライオポンプ |
¢3インチ × 60枚、¢4インチ × 45枚または¢5インチ × 14枚 |
|
![]() |
AAMH-C20130SB |
要見積もり |
全自動 |
7 x 10-⁵Pa以下 |
×10-⁴Pa台まで25分以内 |
クライオポンプ |
420 × 275基板 × 8枚 |
蒸着装置の中で同じ条件の製品
排気系主ポンプ: クライオポンプ
蒸着装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜排気時間 分
10 - 15 15 - 20 20 - 25排気系主ポンプ
クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ操作方法
全自動 手動 自動基板サイズ mm
50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000チャンバーサイズ mm
150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400蒸発方式
抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱基板加熱温度 ℃
100 - 500 500 - 800 800 - 1,000膜厚分布 %
1 - 5 5 - 15