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スパッタ成膜装置 縦型スパッタ成膜装置取扱企業
株式会社日本シード研究所カテゴリ
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半導体製造装置の製品203点中、注目ランキング上位6点
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次の条件に該当する商品を1件表示しています
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 排気性能 到達圧力 | 排気性能 排気時間 | 真空槽 | 真空槽 試料サイズ | 排気系 主排気ポンプ | 排気系 補助ポンプ | 排気系 トラッブ | 排気系 各種バルブ | 真空計 低真空 | 真空計 高真空 | 真空計 圧力制御 | 槽内アクセス アクセスドア | 制御系 主操作 | 制御系 自動動作機能 | 機能 シャッター | ユーティリティ 電力・接地 | ユーティリティ 冷却水 | ユーティリティ ペントガス | ユーティリティ 圧縮空気 | ユーティリティ 設置面積 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
縦型スパッタ成膜装置 |
要見積もり |
≦6.65×10^ｰ4Pa |
≦2.0×10^ｰ3Pa |
SUS製チャンバ |
MaxΦ450×1,200mm (H) |
ターボ分子ポンプ (水冷) |
油回転真空ポンプ |
クライオトラッブ |
PLC操作 (自動および手動) |
クリスタル真空計 |
ゴールドカソード真空計 |
絶対圧真空計 |
Oリングシール |
制御盤 PLC操作 |
排気系動作 |
自動 |
主電源系 |
供給圧：0.2~0.3MPa |
窒素ガス |
0.5~0.8MPa |
(W×D×H) ＝3,000mm×2,400mm×2,300mm |
半導体製造装置の中で同じ条件の製品
構成環境: 真空型
半導体製造装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#成膜 #エッチング #洗浄 #アッシング #イオン注入 #検査 #搬送 #アライメント #パターニング #組立 #封止 #計測工程分類
成膜装置 リソグラフィ装置 エッチング装置搬送方式
バッチ式 シングル式 クラスター式 真空搬送式成膜方式
化学気相成長型 物理気相成長型 スピンコート型ウェハーサイズ mm
0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350チップサイズ mm
0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35基板サイズ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500処理能力 秒/chip
0 - 1 2 - 31ボンディング精度 μm
0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21電源電圧 V
90 - 120 120 - 220 220 - 260
