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シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置取扱企業
PHT株式会社カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ウエハーサイズ | ウエハ材質 | 処理槽及び構成 | HEPA又はULPA | ロボット | 薬液 | 薬液温度 | 薬液槽 | リンス槽 | LD&ULD | 乾燥 | 用力 | オプション設備 | 処理枚数 | 搬送方式 | 洗浄方法 | 処理時間 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
SCC-250 |
要見積もり |
φ200mm・φ300mm |
シリコン (SiCなどの化合物半導体は、別途仕様打合せ必要) |
ライン構成により別途仕様打合せ |
数量は構成により決定 |
PHT製又はPHOENIX ENGINEERING製:上下軸 (ACサーボ駆動) +走行軸 (ACサーボ駆動) +チャック機構 (エア駆動) |
O₃・HF・NCW・KOH・NH₄OH・H₂O₂・HCL・EDTA・HCL・クエン酸・DIW |
最大100℃まで対応可能 |
振子揺動・回転・超音波 |
バブリング、QDR、比抵抗計設置 |
イオナイザー (オプション) |
温水引上・IR・スピンドライヤー・マランゴニー |
純水、窒素 (エアセンサー用) 、クリーンエアー、電源、真空 (搬送用) |
オゾン発生装置 |
25枚・50枚の2種類 |
キャリアタイプ・キャリアレスタイプから選択 |
使用するプロセスに応じて洗浄槽の構成が決まります。 |
1バッチ (25枚又は50枚) 5分 (300sec) ~6分 (360sec) です。 |