シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置
PHT株式会社
この製品について
■対応プロセス
ワイヤーソー後洗浄・ラップ後洗浄・アルカリエッチング洗浄・熱処理前洗浄・熱処理後洗浄・研磨後洗浄・FINAL洗浄に対応します。-
シリーズ
シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置
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取扱企業
PHT株式会社
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カテゴリ
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シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ウエハーサイズ | ウエハ材質 | 処理槽及び構成 | HEPA又はULPA | ロボット | 薬液 | 薬液温度 | 薬液槽 | リンス槽 | LD＆ULD | 乾燥 | 用力 | オプション設備 | 処理枚数 | 搬送方式 | 洗浄方法 | 処理時間 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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SCC-250 |
要見積もり | φ200mm・φ300mm | シリコン (SiCなどの化合物半導体は、別途仕様打合せ必要) | ライン構成により別途仕様打合せ | 数量は構成により決定 | PHT製又はPHOENIX ENGINEERING製：上下軸 (ACサーボ駆動) +走行軸 (ACサーボ駆動) +チャック機構 (エア駆動) | O₃・HF・NCW・KOH・NH₄OH・H₂O₂・HCL・EDTA・HCL・クエン酸・DIW | 最大100℃まで対応可能 | 振子揺動・回転・超音波 | バブリング、QDR、比抵抗計設置 | イオナイザー (オプション) | 温水引上・IR・スピンドライヤー・マランゴニー | 純水、窒素 (エアセンサー用) 、クリーンエアー、電源、真空 (搬送用) | オゾン発生装置 | 25枚・50枚の2種類 | キャリアタイプ・キャリアレスタイプから選択 | 使用するプロセスに応じて洗浄槽の構成が決まります。 | 1バッチ (25枚又は50枚) 5分 (300sec) ~6分 (360sec) です。 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
