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洗浄装置 カセット洗浄装置-TCC-803
洗浄装置 カセット洗浄装置-株式会社テクノビジョン

洗浄装置 カセット洗浄装置
株式会社テクノビジョン

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この製品について

■製品概要

モデル「TCC-803 カセット洗浄装置」は、ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、キャリアー、ボックス等の精密洗浄を目的とした洗浄装置。少量多品種生産用途に適したコンパクトな装置です。 多様化する半導体デバイス、ナノ領域に入ったデザインルール、ますます高度化する環境の中で求められる歩留り向上、これらの問題をクリアするソリューションの一つにコンタミネｰションコントロール (製品への不純物付着がないよう管理すること) が最重要課題として位置付けられています。 テクノビジョンが提供するカセット洗浄装置は、この様な高度清浄化をサポートする高度な洗浄ノウハウが凝縮されているキャリア･クリーナーです。 特長

■複雑な形状のワーク (ウェハ搬送容器) を考慮し、各種回転やスプレー洗浄等数多くの洗浄ノウハウを凝縮し、製品化しています。最大8インチSMIF PODまで対応。

・精密洗浄：ワークに上下、左右回転動作機能を持たせ隅々まで精密洗浄 ・強力洗浄：ウェハー収納ミゾ部全面に対し直角スプレーを実施 ・ホット純水：クリーンヒーター内蔵で、ホット純水による洗浄 ・乾燥：水切り、乾燥チャンバーの2段階乾燥 ・小フットプリント：縦型設計で、省スペース化を実現 洗浄プロセス

■洗浄では、「洗浄」→「リンス」→「乾燥1」→「乾燥2」･「静電気除去」のプロセスを自動運転します。

・WASH (洗浄) ：複雑な形状のカセット、ボックス等を精密洗浄 ・RINSE (リンス) ：洗浄時に界面活性剤を使った場合のリンス工程 ・DRY-1 (乾燥-1) ：エアーナイフによる水切り工程 ・DRY-2 (乾燥-2) ：Low Flow ホットエアーナイフによるファイナルドライ ・ESD (静電気除去) ：静電気を除去し、塵埃の付着を防止

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    洗浄装置 カセット洗浄装置

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社テクノビジョン

会社概要

株式会社テクノビジョンは、半導体製造装置の開発・製造と輸出輸入業を行う会社です。 1987年に埼玉県で設立されました。各種洗浄装置の開発・販売を中心に事業を展開し、海外メーカーからの受注や、台湾・中国・欧州で販売代理店...

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  • 本社所在地: 埼玉県

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