nanoETCH ソフトエッチング装置 Model. ETCH5A-ETCH5A

nanoETCH ソフトエッチング装置 Model. ETCH5A
テルモセラ・ジャパン株式会社

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この製品について

■概要<30W (制御精度10mW) 低出力 RFエッチングによるダメージレスエッチング欧州アカデミックパートナーとの共同開発技術「Soft-Etching」テクノロジー。英国MoorfieldNanotechnology社のʼnanoETCHʼソフトエッチング装置は、センシティブでデリケートなエッチング制御を必要とする材料に対応するローパワーソフトエッチング、RIE (反応性プラズマエッチング) 、及び表面改質クリーニング、など様々な用途で活用頂けます。

■主なアプリケーション・ 2D (遷移金属カルゴゲナイド, 材料転写後のグラフェン剥離) :表面改質
・PMMA, PPA等のポリマーレジスト除去
・テフロン基板などのダメージを受けやすい基板での表面改質、エッチング
・h-BNサイドウオールエッチング (*『フッ化ガス供給モジュール』オプション要) 
・SiO2エッチング (*『フッ化ガス供給モジュール』オプション要) 

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
nanoETCH ソフトエッチング装置 Model. ETCH5A

取扱企業
テルモセラ・ジャパン株式会社

カテゴリ

加工・工作機器

エッチング装置

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プラズマエッチング装置

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nanoETCH ソフトエッチング装置 Model. ETCH5A 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	ウエハーサイズ	プロセスガス	真空排気系	到達真空度	プラズマ電源	ユーティリティ電源	ユーティリティプロセスガス	ユーティリティベントガス	ユーティリティ冷却水	ユーティリティ圧縮空気	オプション
	ETCH5A	要見積もり	Φ3inch (標準) 、又はΦ4inch、最大Φ6inch	最大3系統MFC (Ar, O2標準, N2オプション)	ターボ分子ポンプ、ロータリーポンプ、WRGワイドレンジゲージ	5×10-5Pa	RF<30W 自動マッチングユニット付属	200V 単相 20A	25psi (0.17Mpa) 99.99%推奨	5-6psi (34-41kpa)	1L/min <4bar (400kpa) , 18-20℃	60-80psi (413-550Mpa)	・APC プロセス圧力自動制御パッケージ, DC電源ユニット・キャパシタンスマノメータ・フッ化ガス供給モジュール (SF6, CHF3) , ドライスクロールポンプ