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レジスト剥離・有機洗浄装置-レジスト剥離・有機洗浄装置
レジスト剥離・有機洗浄装置-株式会社菱光社

レジスト剥離・有機洗浄装置
株式会社菱光社

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この製品について

■概要

レジスト剥離を始めとする、有機剥離洗浄を行う装置

■特長

・メンテナンス性に優れた、背面上部搬送機タイプ。 ・超音波は、低周波から高周波まで対応。スイープタイプや多周波タイプ等、ワークに合せて提案 ・揺動機構に対応。 ・有機溶剤と酸・アルカリ系の混在仕様も対応可能 ・角基板、小片ウェハ等、特殊な形状のワークもカセット設計から対応可能 ・手動タイプから全自動タイプまで、仕様・予算に合せてご提案可能 ・剥離槽の数、リンス槽の数、乾燥方式等カスタマイズ可能

■カスタマイズ

・漏洩センサー ・排気圧センサー ・非常停止スイッチ ・一時停止スイッチ (自動メカ付) ・扉センサー (自動メカ付) ・圧力スイッチ ・温度センサー (恒温度仕様) ・自動消火システム ・パトライト ・網入りガラス又は強化ガラス ・爆圧ハッチ ・各種インターロック 等 ※装置により一部機器は取付できない場合もあります。

  • シリーズ

    レジスト剥離・有機洗浄装置

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レジスト剥離・有機洗浄装置 品番1件

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レジスト剥離・有機洗浄装置

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株式会社菱光社は、1950年に設立された精密測定機器等を販売する専門商社です。 創業当初は、発電機、自転車等の重工関連の販売を行っていましたが、1950年ごろ、ニコンの投影機一型の代理店となったことから、光学、精密測定...

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