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電子ビーム真空蒸着装置-VE2030EB-S型
電子ビーム真空蒸着装置-アトーテック株式会社

電子ビーム真空蒸着装置
アトーテック株式会社

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この製品について

本装置は、前進的な試料作りを目的とし清浄高真空中で電子ビームにより特にMg合金を初めとする全ての金属に適した蒸着装置として開発された装置です。

■特長

・真空排気系はTMP80L/secとRP50L/minの組合わせで、全て電磁バルブを使用した全自動排気系であります。 ・到達圧力は液体窒素トラップ無しで10 -5Paに入ります。 ・メタルコーティングやシャドーイングは超微粒子蒸着となり解像度が向上します。

  • シリーズ

    電子ビーム真空蒸着装置

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電子ビーム真空蒸着装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
電子ビーム真空蒸着装置-品番-VE2030EB-S型

VE2030EB-S型

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排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1000 1000 - 3000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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この商品の取り扱い会社情報

アトーテック株式会社

会社概要

アトーテック株式会社は、1989年に設立された真空装置メーカーです。 一般社団法人日本真空学会に加盟し、半導体製造などに用いられる容器の内部から気体を排出させて、容器内を真空状態にする真空ポンプや、半導体製造や医薬品の...

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  • 本社所在地: 東京都

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