電子ビーム真空蒸着装置-VE2030EB-S型

電子ビーム真空蒸着装置-アトーテック株式会社

電子ビーム真空蒸着装置-VE2030EB-S型

電子ビーム真空蒸着装置
アトーテック株式会社

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この製品について

本装置は、前進的な試料作りを目的とし清浄高真空中で電子ビームにより特にMg合金を初めとする全ての金属に適した蒸着装置として開発された装置です。

■特長・真空排気系はTMP80L/secとRP50L/minの組合わせで、全て電磁バルブを使用した全自動排気系であります。
・到達圧力は液体窒素トラップ無しで10 -5Paに入ります。
・メタルコーティングやシャドーイングは超微粒子蒸着となり解像度が向上します。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
電子ビーム真空蒸着装置

取扱企業
アトーテック株式会社

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アトーテック株式会社

会社概要

アトーテック株式会社は、1989年に設立された真空装置メーカーです。一般社団法人日本真空学会に加盟し、半導体製造などに用いられる容器の内部から気体を排出させて、容器内を真空状態にする真空ポンプや、半導体製造や医薬品の...

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本社所在地: 東京都

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