スクリュー式ドライ真空ポンプ
大晃機械工業株式会社

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この製品について

スクリュー式ドライ真空ポンプは、独自のスクリュー形状を採用した画期的なドライポンプで、スクリュー式において世界最低速運転を実現しています。

スクリュー式は、吸気から排気までを非接触状態で単段圧縮を行うことにより、空気やガスなどの気体に同伴するパウダー分やミスト分などを効率良く排気する特徴を有しており、半導体、液晶、太陽電池、医薬、ケミカル業界などの幅広い真空用途で高信頼性のポンプとして採用されています。

■特徴・排気速度：500-60,000L/min
・到達圧力：〜0.08Pa

■真空ポンプの作動原理ポンプケーシング内に装備されたスクリューにより、噛み合った隙間に流体を導き、回転させることで、軸⽅向に流体を連続移動する真空ポンプの⼀種である。当社の真空ポンプは、クインビー式スクリューを採⽤している。ドライ式で、オイルバックを起こさないクリーンな真空を形成する。

■スクリューロータ　真空ポンプのロータ形状⽐較・Queen Bee Screw (⼤晃真空ポンプ) ：ロータ相互の隙間を最⼩限に出来、密に噛み合うので、漏れ量が少ない。かぎ⽖形状で異物を出しやすい。低回転で⾼効率
・⾓形ネジスクリュー：容積が⼩さく、混⼊した異物を混⼊を排出しにくい。

■真空ポンプの構造比較・Queen Bee Screw (⼤晃真空ポンプ) ：排気経路が短く、排気までのルートが1パスであり、ガスの攪拌や粉体の詰りを最⼩限に抑え、同伴物 (粉体等) を効率よく排気出来る。粉体ロックが少なく、故障率が最⼩
・多段ルーツ・クロー式インペラ：排気経路が複雑で、各部屋で段階的に圧縮する為、粉体によるロック、各ステージで詰まる可能性あり。凝縮性のガス排出も各部屋ごとに⾏う必要がある。

■Queen Bee Screwの特⻑・異物によるロックやつまりが少ない
・低回転、低騒⾳、低振動
・クインビー側とテーパ側のスクリュー形状を変えることでスクリュー同⼠の隙間が狭く、リーク量が少ない
・使⽤するガスが液化しにくい
・使⽤するガスが昇華しにくい