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真空 プラズマエッチャー加熱機構付 CPE-200AHM-CPE-200AHM
真空 プラズマエッチャー加熱機構付 CPE-200AHM-株式会社魁半導体

真空 プラズマエッチャー加熱機構付 CPE-200AHM
株式会社魁半導体

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この製品について

SiO2やSiのエッチングや有機物のアッシングを、加熱することで高速・高効率に。

■製品概要

・プラズマエッチャーCPEシリーズに、ステージ加熱付きが新登場 ・最高400℃まで加熱可能 ・処理時間短縮、耐久試験の加速試験に ・タッチパネルで簡単操作 (プラズマ操作部) ・PID制御による高精度温度制御

  • シリーズ

    真空 プラズマエッチャー加熱機構付 CPE-200AHM

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2025年6月16日にレビュー

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真空 プラズマエッチャー加熱機構付 CPE-200AHM 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 外形寸法 電極ステージ ステージ加熱 ガス導入 電源
真空 プラズマエッチャー加熱機構付 CPE-200AHM-品番-CPE-200AHM

CPE-200AHM

要見積もり

W560mm×D690mm×H1,650mm

直径200mm

最高温度400℃

2系統

単相200V, 30A

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使用用途

#半導体製造 #MEMS製造 #ディスプレイ製造 #LED製造 #パワーデバイス製造 #センサー製造 #微細加工 #ナノインプリント #研究開発 #バイオチップ製造

加工方式

真空 マイクロ波

処理圧力調整

バルブ 手動調整 APC制御

真空計

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会社概要

株式会社魁半導体は、プラズマによる材質の表面処理や洗浄などを用いた各種半導体製造装置を開発・製造・販売するメーカーです。 2002年に京都工芸繊維大学発ベンチャーとして学内で創業し、2007年に株式会社魁半導体を設立し...

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  • 本社所在地: 京都府

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