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プラズマエッチング装置の製品20点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 外形寸法 | 電極ステージ | ステージ加熱 | ガス導入 | 電源 |
---|---|---|---|---|---|---|---|
CPE-200AHM |
要見積もり |
W560mm×D690mm×H1,650mm |
直径200mm |
最高温度400℃ |
2系統 |
単相200V, 30A |