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真空 直接気化式-薄膜形成装置 DH-CVD-DH-CVD
真空 直接気化式-薄膜形成装置 DH-CVD-株式会社魁半導体

真空 直接気化式-薄膜形成装置 DH-CVD
株式会社魁半導体

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この製品について

業界初、液体原料から直接成膜する安全なプラズマ CVD。

■製品概要

・魁半導体独自の「DH-CVD」技術を応用した薄膜形成装置 ・有機金属系の材料も危険なガスを使わず安全に使用可能 ・液体気化装置、流量制御装置が不要なため低コスト ・簡便な操作で薄膜形成が可能 ・ガスと比べて原料の取り扱いが容易

■成膜溶液

・配合液1 SiO2膜溶液 ・配合液2 炭素水素膜/含有元素選択炭水素膜用溶液 (ご要望に合わせたカスタム配合) ・配合液3 金属酸化膜用溶液 (ご要望に合わせたカスタム配合)

  • シリーズ

    真空 直接気化式-薄膜形成装置 DH-CVD

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真空 直接気化式-薄膜形成装置 DH-CVD 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 外形寸法 電極ステージ 重量 放電方式 高圧電源 出力調整 ガス導入 排気流量調節 真空計 タイマー 電源
真空 直接気化式-薄膜形成装置 DH-CVD-品番-DH-CVD

DH-CVD

要見積もり

560mm (W) ×560mm (D) ×400mm (H)

直径400mmステンレス鋼製 (オプションで変更可)

200

交流平行平板式

交流 (電源周波数に同期)

手動調節

なし

なし (オプションで追加可)

なし (オプションで追加可)

0~9,999秒の間でプラズマ照射時間を設定

単相200V,15A (50Hz/60Hz)
※ポンプ用電源を含む

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社魁半導体は、プラズマによる材質の表面処理や洗浄などを用いた各種半導体製造装置を開発・製造・販売するメーカーです。 2002年に京都工芸繊維大学発ベンチャーとして学内で創業し、2007年に株式会社魁半導体を設立し...

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  • 本社所在地: 京都府
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