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シリーズ
真空 直接気化式-薄膜形成装置 DH-CVD取扱企業
株式会社魁半導体カテゴリ
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プラズマCVD装置の製品20点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 外形寸法 | 電極ステージ | 重量 | 放電方式 | 高圧電源 | 出力調整 | ガス導入 | 排気流量調節 | 真空計 | タイマー | 電源 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
DH-CVD |
要見積もり |
560mm (W) ×560mm (D) ×400mm (H) |
直径400mmステンレス鋼製 (オプションで変更可) |
200 |
交流平行平板式 |
交流 (電源周波数に同期) |
手動調節 |
なし |
なし (オプションで追加可) |
なし (オプションで追加可) |
0~9,999秒の間でプラズマ照射時間を設定 |
単相200V,15A (50Hz/60Hz) |