太陽電池用ウェットプロセス装置 SILEX Ⅱ CLEANTEX-SILEX Ⅱ CLEANTEX

太陽電池用ウェットプロセス装置 SILEX Ⅱ CLEANTEX
株式会社メディア研究所

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この製品について

■概要SINGULUS TECHNOLOGIES社は、標準および高効率セルラインでのSiウェーハのWet処理の為に完全に自動化されたドライイン/ドライアウト ソリューション としてのSILEX II CLEANTEXを提供します。効率的な洗浄ステップは、セルの効率を改善し、運用コストを削減する為に不可欠な要件です。 SILEX IIウェットベンチに適用されるオゾンベースの洗浄機能は、効率的な有機物と金属の除去並びに適切な表面調整を組み合わせたものです。

化学薬品のコストと消費量が少ないため、プロセスが簡単です。制御と高い金属除去効率を備えたオゾン化洗浄槽は、ソーラーおよび半導体業界で知られている従来の高価なマルチステップRCA洗浄に対しての完全な代替となります。

■機能・最大550MWの高スループットパフォーマンス/年産
・最大95％の高い稼働時間
・故障率 0.01％まで低い
・ウェーハ厚さ120μmまで (ウェーハサイズM6) (リクエストに応じて<120 µm) 
・個別の柔軟なプロセスシーケンス
・スループット調整用のオンボードスケジューラ ソフトウェア
・オンボードパフォーマンス アナライザ ソフトウェア
・オゾン強化洗浄およびエッチングプロセス
・短くて安定したIPAフリーのテクスチャリングプロセス