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太陽電池用ウェットプロセス装置 SILEX Ⅱ CLEANTEX-SILEX Ⅱ CLEANTEX
太陽電池用ウェットプロセス装置 SILEX Ⅱ CLEANTEX-株式会社メディア研究所

太陽電池用ウェットプロセス装置 SILEX Ⅱ CLEANTEX
株式会社メディア研究所

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■概要

SINGULUS TECHNOLOGIES社は、標準および高効率セルラインでのSiウェーハのWet処理の為に完全に自動化されたドライイン/ドライアウト ソリューション としてのSILEX II CLEANTEXを提供します。効率的な洗浄ステップは、セルの効率を改善し、運用コストを削減する為に不可欠な要件です。 SILEX IIウェットベンチに適用されるオゾンベースの洗浄機能は、効率的な有機物と金属の除去並びに適切な表面調整を組み合わせたものです。 化学薬品のコストと消費量が少ないため、プロセスが簡単です。制御と高い金属除去効率を備えたオゾン化洗浄槽は、ソーラーおよび半導体業界で知られている従来の高価なマルチステップRCA洗浄に対しての完全な代替となります。

■機能

・最大550MWの高スループットパフォーマンス/年産 ・最大95%の高い稼働時間 ・故障率 0.01%まで低い ・ウェーハ厚さ120μmまで (ウェーハサイズM6) (リクエストに応じて<120 µm) ・個別の柔軟なプロセスシーケンス ・スループット調整用のオンボードスケジューラ ソフトウェア ・オンボードパフォーマンス アナライザ ソフトウェア ・オゾン強化洗浄およびエッチングプロセス ・短くて安定したIPAフリーのテクスチャリングプロセス

  • シリーズ

    太陽電池用ウェットプロセス装置 SILEX Ⅱ CLEANTEX

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太陽電池用ウェットプロセス装置 SILEX Ⅱ CLEANTEX 品番1件

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SILEX Ⅱ CLEANTEX

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洗浄装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#除菌殺菌 #乾燥 #精密洗浄 #異物除去 #脱脂 #油分除去 #容器洗浄 #タンク洗浄

洗浄方式

超音波洗浄型 スプレー洗浄型 浸漬洗浄型 真空洗浄型 アーチ旋回洗浄 スチーム洗浄 ブラシ洗浄 温水洗浄 乾式洗浄 高圧洗浄 循環洗浄 洗剤洗浄 超音波洗浄 噴射洗浄 泡洗浄 薬液洗浄

洗浄媒体

水系洗浄型 溶剤洗浄型

搬送方式

バッチ型 インライン型

乾燥方式

温風乾燥型 真空乾燥型

消費電力 kW

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500

電源電圧 V

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 260

タンク容量

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 4,500

洗浄液

アルカリ性界面活性剤 ゲルピカラボ スチーム パインアルファ プロピレングリコール 市水 純水 水石鹸液 精製水 専用アルカリ洗剤 専用酵素洗剤 中性洗剤 溶剤

対象ワーク

ウェハー オリコン カブ ガラス瓶 クレート ゴボウ コンテナ プラスチックトレー マスク メタルマスク 基板 金型 人参 大根

駆動方式

ダブルモーター エア駆動 シングルモーター ギヤ駆動 軸流タービン コンベア駆動 ペルトン型タービン トリプルウォッシュ スパイラル搬送

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社メディア研究所は1991年に創業し、海外メーカーとのネットワークを通じて世界最先端の技術や製品、最新の技術情報を提供する技術商社として、フィルム検査、真空・薄膜製造装置を主軸とした事業を展開しています。 取り扱...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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