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キャリア基板受入れ洗浄装置-PHT株式会社

PHT株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

57.3時間

全型番で同じ値の指標

投入コンベア部

600 mm × 板厚 0.7~1.2 mm 1枚投入可

アイドルポジション

洗浄投入待機部、排気機能付帯

シャワー (1)

純水シャワー+2流体ノズル洗浄

ブラシ洗浄部

純水シャワー洗浄+スパイロールブラシ

シャワー (2)

純水によるリンス洗浄

シャワー (3)

純水による最終リンス洗浄

水切りローラ部

吸水ローラによる水切り

エアー乾燥部

エアーナイフによる乾燥

イオナイザー

イオナイザーブロー乾燥

この製品について

■製品特徴

次世代半導体向けの最先端チップレットパッケージ技術が開発されており、ガラス基板はパッケージ用キャリア基板としての適用が想定されています。そのガラスキャリア基板の搬送および洗浄装置の提案が可能です。

■導入事例

本装置は、ガラス基板受入洗浄に使用します。薬液は使用せず純水 (DIW) のみを使用します。 洗浄プロセスと装置構成。プロセスは、下記の順番となっています。 (1) 投入コンベア → (2) アイドル → (3) 2流体シャワー洗浄 → (4) ブラシ洗浄 → (5) 純水シャワー洗浄 → (6) 純水による最終リンス洗浄 → (7) 吸水ローラによる水切 → (8) エアーナイフによるスリットノズル乾燥 (9) イオナイザーブロー乾燥LD&ULD付です。 (ロードポート付帯)

  • 型番

    PWG-2501

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キャリア基板受入れ洗浄装置 PWG-2501の性能表

商品画像 価格 (税抜) 投入コンベア部 アイドルポジション シャワー (1) ブラシ洗浄部 シャワー (2) シャワー (3) 水切りローラ部 エアー乾燥部 イオナイザー
キャリア基板受入れ洗浄装置-品番-PWG-2501 要見積もり 600 mm × 板厚 0.7~1.2 mm 1枚投入可 洗浄投入待機部、排気機能付帯 純水シャワー+2流体ノズル洗浄 純水シャワー洗浄+スパイロールブラシ 純水によるリンス洗浄 純水による最終リンス洗浄 吸水ローラによる水切り エアーナイフによる乾燥 イオナイザーブロー乾燥

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使用用途

#除菌殺菌 #乾燥 #精密洗浄 #異物除去 #脱脂 #油分除去 #容器洗浄 #タンク洗浄

洗浄方式

超音波洗浄型 スプレー洗浄型 浸漬洗浄型 真空洗浄型 アーチ旋回洗浄 スチーム洗浄 ブラシ洗浄 温水洗浄 乾式洗浄 高圧洗浄 循環洗浄 洗剤洗浄 超音波洗浄 噴射洗浄 泡洗浄 薬液洗浄

洗浄媒体

水系洗浄型 溶剤洗浄型

搬送方式

バッチ型 インライン型

乾燥方式

温風乾燥型 真空乾燥型

消費電力 kW

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500

電源電圧 V

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 260

タンク容量

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 4,500

洗浄液

アルカリ性界面活性剤 ゲルピカラボ スチーム パインアルファ プロピレングリコール 市水 純水 水石鹸液 精製水 専用アルカリ洗剤 専用酵素洗剤 中性洗剤 溶剤

対象ワーク

ウェハー オリコン カブ ガラス瓶 クレート ゴボウ コンテナ プラスチックトレー マスク メタルマスク 基板 金型 人参 大根

駆動方式

ダブルモーター エア駆動 シングルモーター ギヤ駆動 軸流タービン コンベア駆動 ペルトン型タービン トリプルウォッシュ スパイラル搬送

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

57.3時間

会社概要

PHT株式会社は半導体搬送システム事業、半導体洗浄装置事業を行う企業です。

特徴
PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

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  • 本社所在地: 東京都

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