全てのカテゴリ
閲覧履歴
適用ワーク
200mm~300mmウェーハ
カップ数
塗布+現像=最大4個
ベーク数
最大16個 (250°C) 焼付き防止機構搭載
クールプレート
搭載可能
高粘度
ポンプ塗布可能
高温ベーク
オプションで最大450°C
型番
SPR3000シリーズ
塗布・現像装置 SPRシリーズ取扱企業
タツモ株式会社カテゴリ
もっと見る
エッチング装置の製品47点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
商品画像 | 価格 (税抜) | 適用ワーク | カップ数 | ベーク数 | クールプレート | 高粘度 | 高温ベーク |
---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
要見積もり | 200mm~300mmウェーハ | 塗布+現像=最大4個 | 最大16個 (250°C) 焼付き防止機構搭載 | 搭載可能 | ポンプ塗布可能 | オプションで最大450°C |
エッチング装置の中でこの商品と同じ値をもつ製品
塗布方式がディスペンス型の製品
エッチング装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #ディスプレイ製造 #MEMS加工 #センサー製造 #光デバイス製造 #電子部品製造 #フォトマスク加工 #ウェーハ加工 #ナノ加工 #試作開発 #学術研究エッチング方式
ウェットエッチング型 ドライエッチング型 イオンビームエッチング型プラズマ生成方式
高周波プラズマ型 インダクティブプラズマ型 キャパシティブプラズマ型搬送方式
バッチ式 シングルウェハ式対象材料
シリコン対応型 化合物半導体対応型 金属膜対応型 絶縁膜対応型ウェハサイズ mm
50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 350プラズマソース
CCP型 ICP RF プラズマ マイクロ波圧力制御
APC制御 FAPC