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適用ワーク
200mm~300mmウェーハ
カップ数
塗布+現像=最大4個
ベーク数
最大16個 (250°C) 焼付き防止機構搭載
クールプレート
搭載可能
高粘度
ポンプ塗布可能
高温ベーク
オプションで最大450°C
型番
SPR3000シリーズ
塗布・現像装置 SPRシリーズ取扱企業
タツモ株式会社カテゴリ
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エッチング装置の製品45点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 価格 (税抜) | 適用ワーク | カップ数 | ベーク数 | クールプレート | 高粘度 | 高温ベーク |
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要見積もり | 200mm~300mmウェーハ | 塗布+現像=最大4個 | 最大16個 (250°C) 焼付き防止機構搭載 | 搭載可能 | ポンプ塗布可能 | オプションで最大450°C |
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