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COBRA SEMICON-日本ブッシュ株式会社

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定格モーター回転数

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定格モーター回転数(バックポンプ)

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この製品について

ドライスクリュー真空ポンプ COBRA Semiconドライスクリュー真空ポンプは、ソーラーモジュール、フラットパネル、半導体の製造、また工業用の各種コーティング用途など、要求が極めて厳しいプロセスに理想的な選択肢です。COBRA Semiconの動作原理は、最先端のスクリュー技術に基づいています。特許取得のセルフバランシングスクリューは、効率において新たな基準を打ち立てるものとなりました。COBRA Semiconは、高い排気能力と優れたベーパーおよび粉体への耐性を兼ね備えているため、 粉体を含むガスの吸引も問題ありません。 ドライかつ非接触式の動作原理が、低メンテナンス、低運用コスト、そして長寿命化を実現しています。COBRA Semiconはコンパクトサイズのため、限られたスペースにも簡単に設置できます。 動作原理 COBRA Semiconドライスクリュー真空ポンプの内部では、2本のスクリュー型のローターが互いに逆方向に回転します。吸引されたガスがシリンダーとスクリューチャンバーの間で捕捉され、 圧縮されながら排気口に運ばれます。このプロセス中に、スクリューローターが互いに接触したり、シリンダーと接触したりすることはありません。 COBRA BCシリーズのメリット COBRA BC真空ポンプは、ロードロックおよびトランスファーチャンバーの用途に最適です。その他の用途としては、メトロロジー、リソグラフィー、PVD、ラピッドサーマルプロセス、シリコンエッチングなどが挙げられます。特許取得のセルフバランシングスクリュー設計により、低振動と静音運転を実現しています。COBRA BC真空ポンプのスクリューは、一体の鋳物のため継ぎ目がありません。従ってプロセス流体や粒子が隙間に侵入することがありません。このため、腐食や堆積が防止されます。 COBRA BC真空ポンプの不等ピッチスクリューのツインローターは、ベル型のカンチレバー構造のため、モーター側のみで固定されています。独自の「フライングベアリング」設計のため、吸気口側のベアリングは不要です。そのため、吸引されたガスはベアリングと接触しません。これにより、クリーンな真空生成が確保され、吸引されたガスを完全に回収することができます。COBRA BCシリーズの真空ポンプには、効率的な直接水冷方式が採用されているため、 真空ポンプ全体の温度が均一に保たれ、 プロセス全体を通じた熱的安定性も保たれます。 完全にオープンな通信プロトコル (Modbus TCP-IP) で、すべての機能を制御できます。これには、アイドリングモードや可変速ドライブも含まれます。この通信プロトコルにより、一般的なインターフェースを使用して特定のネットワークにも簡単に適応できます。 直結式キャンドモーターを採用しているため、COBRA BCシリーズは非常にコンパクトです。設置場所を選ばない設計のため、既存のシステムにも簡単かつ迅速に後付けすることができます。 半導体のライト~ミディアムプロセス向けに理想的なソリューション ・高度なスクリュー設計 ・ドライかつ非接触式の動作原理 ・独自のフライングベアリング設計 ・カンチレバー構造 ・設置場所を選ばないコンパクト設計 ・直接水冷方式 ・完全にオープンな通信プロトコル

  • 型番

    COBRA DS 0700 G 50Hz

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2025年3月21日にレビュー済み

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COBRA SEMICON COBRA DS 0700 G 50Hzの性能表

商品画像 価格 (税抜)

到達真空度

到達真空度
騒音値(ISO2151) 窒素消費量 消費電力(アイドルモード時) 消費電力(到達真空度時) 定格モーター回転数(バックポンプ) 定格モーター回転数(メカニカルブースター) 定格モーター出力(バックポンプ) 定格モーター出力(メカニカルブースター) 質量 使用水量 設計排気速度 外形寸法(LxWxH) ガスアウトレット ガスインレット
COBRA SEMICON-品番-COBRA DS 0700 G 50Hz 要見積もり

0.003 hPa

0.003hPa(mbar)

<62dB(A) 0–75l/min 3.0kW 3.0kW 3000min⁻¹ 3000min⁻¹ 4.0kW 4.0kW 445kg 5.0l/min 500m³/h 865x385x917mm DN40 DN63

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

日本ブッシュ株式会社は、ブッシュグループの真空ポンプや関連機器の輸入販売を行う産業用機械メーカーです。 2004年に神奈川県平塚市に本社を設立し、システム・販売・物流機能が統合されました。 主な事業内容は食品包装用に特...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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